1. Kvittering før rengøring
1) NårPECVD grafitbåd/carrier bruges mere end 100 til 150 gange, skal operatøren kontrollere belægningstilstanden i tide. Hvis der er en unormal belægning, skal den rengøres og bekræftes. Den normale belægningsfarve på siliciumwaferen i grafitbåden/bæreren er blå. Hvis waferen har ikke-blå, flere farver, eller farveforskellen mellem waferne er stor, er det en unormal belægning, og årsagen til unormaliteten skal bekræftes i tide.
2) Efter processen analyserer personalet belægningens tilstandPECVD grafitbåd/carrier, afgør de om grafitbåden skal renses og om kortpunktet skal udskiftes, og grafitbåden/carrieren der skal renses vil blive afleveret til udstyrspersonalet til rengøring.
3) Eftergrafit båd/carrier er beskadiget, vil produktionspersonalet tage alle siliciumskiverne ud i grafitbåden og bruge CDA (komprimeret luft) til at sortere fragmenterne igrafit båd. Efter færdiggørelsen vil udstyrspersonalet løfte det op i syretanken, der er klargjort med en vis andel HF-opløsning til rengøring.
2. Rengøring af grafitbåd
Det anbefales at bruge en 15-25% flussyreopløsning til tre rengøringsrunder, hver i 4-5 timer, og periodisk boblende nitrogen under iblødsætnings- og rengøringsprocessen, hvilket tilføjer cirka en halv times rengøring; bemærk: det anbefales ikke at bruge luft direkte som gaskilde til bobling. Efter bejdsning skylles med rent vand i ca. 10 timer og bekræftes, at båden er grundigt rengjort. Efter rengøring skal du kontrollere bådens overflade, grafitkortspidsen og bådpladesamlingen og andre dele for at se, om der er rester af siliciumnitrid. Tør derefter efter kravene.
3. Forholdsregler for rengøring
A) Da HF-syre er et stærkt ætsende stof og har en vis flygtighed, er det farligt for operatører. Derfor skal operatører på rengøringsstedet tage sikkerhedsforanstaltninger og ledes af en dedikeret person.
B) Det anbefales at skille båden ad og kun rengøre grafitdelen under rengøringen, så hver kontaktdel kan rengøres mere grundigt. På nuværende tidspunkt bruger mange indenlandske producenter overordnet rengøring, hvilket er praktisk, men fordi HF-syre er ætsende for keramiske dele, vil generel rengøring forkorte levetiden for de tilsvarende dele.
Indlægstid: 23. december 2024