VET Energy SiC Coated Susceptorer en højtydende løsning omhyggeligt udformet til at levere pålidelig, ensartet ydeevne over en længere levetid, der opfylder de strenge krav til halvlederfremstilling. Med enestående varmebestandighed, overlegen termisk ensartethed og høj renhed er dette produkt ideelt til MOCVD-wafer-bærere og andre wafer-behandlingsapplikationer, der kræver stabilitet og præcision. Dens robuste erosionsbestandighed gør den til et førsteklasses valg til miljøer, hvor holdbarhed og kemisk modstandsdygtighed er afgørende.
VoresSiC Coated Grafit Susceptorstår som en kritisk komponent i halvlederfremstillingsprocessen, der udnytter VET Energys eksklusive patenterede teknologi til at opnå ekstrem høj renhed, overlegen belægningsensartethed og bemærkelsesværdig termisk stabilitet. Belægningen forstærker grafitsubstratet med høj kemisk resistens og en væsentlig forlænget levetid. VET Energy's dedikation til kvalitet har resulteret i en SiC-belagt susceptor, der opfylder de skiftende behov på markedet for grafitwaferbærere, og sætter en høj standard for SiC-belagte grafitsusceptorer, der anvendes iMOCVD-processer.
Nøgleegenskaber ved SiC-belagte susceptorer:
1. Højtemperaturoxidationsmodstand:Tåler temperaturer op til 1700 ℃, hvilket gør den velegnet til ekstreme behandlingsforhold.
2. Høj renhed og termisk ensartethed:Sikrer ensartede resultater, afgørende forMOCVD-susceptorerog andre præcisionsapplikationer.
3. Fremragende korrosionsbestandighed:Modstandsdygtig over for syre, alkali, salt og forskellige organiske reagenser.
4. Forbedret overfladehårdhed:Kompakt overflade med fine partikler, der giver højere holdbarhed og lang levetid.
5. Forlænget levetid:Konstrueret til vedvarende ydeevne, der overgår standard siliciumcarbid-belagte susceptorer i barske forarbejdningsmiljøer.
Som en førende producent er VET Energy specialiseret i skræddersyet grafit ogsiliciumcarbidproduktermed forskellige belægningsmuligheder, bl.aSiC belægning, TaC belægning, glasagtig kulstofbelægningog pyrolytisk carbonbelægning. Vi betjener stolt halvleder- og fotovoltaiske industrier og leverer siliciumcarbidbelagte grafitsusceptorer, der opfylder specifikke operationelle krav.
Vores tekniske team, med erfaring fra førende indenlandske forskningsinstitutioner, er dedikeret til at fremme materielle løsninger til de skiftende behov iSiC-belagt grafitsusceptormarked. Gennem vores patenterede proces har VET Energy udviklet unik teknologi, der væsentligt forbedrer bindingsstyrken mellem siliciumcarbidbelægningen og underlaget, hvilket reducerer risikoen for løsrivelse og øger langsigtet pålidelighed.
Anvendelser og fordele inden for halvlederbehandling
DeSiC belægning til MOCVDmuliggørgrafit susceptorkomponenter for at bevare integriteten under høje temperaturer og korrosive miljøer, hvilket er afgørende for præcision halvlederproduktion. Disse SiC-belagte grafitkomponenter er især værdsat i processer, der kræver siliciumcarbid-belagte susceptorer forgrafit wafer bærere, som kræver høj termisk stabilitet, renhed og modstand mod kemisk erosion.
Med vores avancerede siliciumcarbid-belægningsteknikker fortsætter VET Energy med at understøtte markedet for grafitwafer-bærere ved at levere skræddersyet, højtydendeSiC-belagte grafitsusceptorerder løser branchespecifikke udfordringer, fra MOCVD-processer til højrenhedsapplikationer inden for halvlederområdet.