SiC Coating Grafit MOCVD Wafer Carriers Susceptorer

Kort beskrivelse:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth er et højtydende produkt designet til at give ensartet og pålidelig ydeevne over en længere periode. Den har super god varmebestandighed og termisk ensartethed, høj renhed, erosionsbestandighed, hvilket gør den til den perfekte løsning til waferbehandlingsapplikationer.

Send e-mail til os Download som PDF

Produktdetaljer

Produkt Tags

SiC belægning grafit MOCVD Wafer bærere/susceptor

Alle vores susceptorer er lavet af højstyrke isostatisk grafit. Drag fordel af den høje renhed af vores grafitter – udviklet specielt til udfordrende processer som epitaksi, krystaldyrkning, ionimplantation og plasmaætsning samt til produktion af LED-chips.

Funktioner af vores produkter:

1. Høj temperatur oxidationsmodstand op til 1700 ℃.
2. Høj renhed og termisk ensartethed
3. Fremragende korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
4. Høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
5. Længere levetid og mere holdbar

CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundlæggende fysiske egenskaber ved CVD SiCbelægning
性质 / Ejendom	典型数值 / Typisk Værdi
晶体结构 / Krystalstruktur	FCC β-fase多晶，主要为（111）取向
密度 / Tæthed	3,21 g/cm³
硬度 / Hårdhed	2500 维氏硬度（500g belastning）
晶粒大小 / Kornstørrelse	2~10μm
纯度 / Kemisk renhed	99,99995 %
热容 / Varmekapacitet	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimationstemperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Bøjestyrke	415 MPa RT 4-punkt
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃
导热系数 / ThermalLedningsevne	300W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Termisk udvidelse (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy er den rigtige producent af skræddersyede grafit- og siliciumcarbidprodukter med forskellige belægninger som SiC-belægning, TaC-belægning, glasagtig carbon-belægning, pyrolytisk carbon-belægning osv., kan levere forskellige tilpassede dele til halvleder- og fotovoltaisk industri.

Vores tekniske team kommer fra top indenlandske forskningsinstitutioner, kan levere mere professionelle materialeløsninger til dig.

Vi udvikler løbende avancerede processer for at levere mere avancerede materialer og har udarbejdet en eksklusiv patenteret teknologi, som kan gøre bindingen mellem belægningen og underlaget tættere og mindre tilbøjelig til at løsne sig.

Hjerteligt velkommen til at besøge vores fabrik, lad os have yderligere diskussion!