vet-kina sikrer, at hver DurableSiliciumcarbid wafer-håndteringspagajhar fremragende ydeevne og holdbarhed. Denne pagaj til håndtering af siliciumcarbidwafer bruger avancerede fremstillingsprocesser for at sikre, at dens strukturelle stabilitet og funktionalitet forbliver i miljøer med høj temperatur og kemisk korrosion. Dette innovative design giver fremragende støtte til håndtering af halvlederwafer, især til højpræcisions automatiserede operationer.
SiC Cantilever-pagajer en specialiseret komponent, der anvendes i halvlederfremstillingsudstyr såsom oxidationsovn, diffusionsovn og udglødningsovn, hovedanvendelsen er til wafer-læsning og -aflæsning, understøtter og transporterer wafers under højtemperaturprocesser.
Fælles strukturerafSiCcantileverpaddle: en cantilever-struktur, fastgjort i den ene ende og fri i den anden, har typisk et fladt og pagaj-lignende design.
ArbejderprincipleafSiCcantileverpaddle:
Cantilever-pagajen kan bevæge sig op og ned eller frem og tilbage i ovnkammeret, den kan bruges til at flytte wafere fra indlæsningsområder til behandlingsområder eller ud af behandlingsområder, støtte og stabilisere wafere under højtemperaturbehandling.
| Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| Ejendom | Typisk værdi |
| Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC indhold | > 99,96 % |
| Gratis Si-indhold | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
| Kompressionsstyrke | > 600 MPa |
| Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk ekspansion ved 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastikmodul | 240 GPa |
| Modstandsdygtighed over for termisk stød | Yderst god |
