varmelegeme i siliciumcarbid keramisk belægning

Dyrlæge-KinaSiliciumcarbid keramikCoating er en højtydende beskyttende coating lavet af ekstremt hårdt og slidstærktsiliciumcarbid (SiC)materiale, som giver fremragende kemisk korrosionsbestandighed og høj temperatur stabilitet. Disse egenskaber er afgørende i halvlederproduktion, såSiliciumcarbid keramisk belægninger meget udbredt i nøglekomponenter i halvlederfremstillingsudstyr.

Vet-Kinas specifikke rolleSiliciumcarbid keramikCoating i halvlederproduktion er som følger:

Forbedre udstyrets holdbarhed:Siliciumcarbid keramisk belægning Siliciumcarbid keramisk belægning giver fremragende overfladebeskyttelse til udstyr til fremstilling af halvledere med sin ekstremt høje hårdhed og slidstyrke. Især i høje temperaturer og stærkt korrosive procesmiljøer, såsom kemisk dampaflejring (CVD) og plasmaætsning, kan belægningen effektivt forhindre, at udstyrets overflade beskadiges af kemisk erosion eller fysisk slid, og derved forlænge levetiden af ​​udstyret betydeligt. udstyret og reducere nedetid forårsaget af hyppig udskiftning og reparation.

Forbedre processens renhed:I halvlederfremstillingsprocessen kan lille forurening forårsage produktfejl. Den kemiske inertitet af siliciumcarbid keramisk belægning gør det muligt at forblive stabilt under ekstreme forhold, hvilket forhindrer materialet i at frigive partikler eller urenheder og sikrer derved processens miljømæssige renhed. Dette er især vigtigt for fremstillingstrin, der kræver høj præcision og høj renlighed, såsom PECVD og ionimplantation.

Optimer termisk styring:I højtemperaturhalvlederbehandling, såsom hurtig termisk behandling (RTP) og oxidationsprocesser, muliggør den høje termiske ledningsevne af siliciumcarbidkeramisk belægning ensartet temperaturfordeling inde i udstyret. Dette hjælper med at reducere termisk stress og materialedeformation forårsaget af temperaturudsving og forbedrer derved produktets fremstillingsnøjagtighed og konsistens.

Understøtte komplekse procesmiljøer:I processer, der kræver kompleks atmosfærekontrol, såsom ICP-ætsnings- og PSS-ætsningsprocesser, sikrer stabiliteten og oxidationsmodstanden af ​​Silicon Carbide Ceramic Coating, at udstyret opretholder en stabil ydeevne i langsigtet drift, hvilket reducerer risikoen for materialenedbrydning eller beskadigelse af udstyr pga. til miljøændringer.