Den AvanceredeSiC Cantilever-pagajfor Wafer Processing skabt af vet-kina giver en fremragende løsning til halvlederfremstilling. Denne cantilever-pagaj er lavet af SiC (siliciumcarbid) materiale, og dens høje hårdhed og varmebestandighed gør det muligt for den at opretholde fremragende ydeevne i høje temperaturer og korrosive miljøer. Designet af Cantilever Paddle gør det muligt at understøtte waferen pålideligt under behandlingen, hvilket reducerer risikoen for fragmentering og beskadigelse.
SiC Cantilever-pagajer en specialiseret komponent, der anvendes i halvlederfremstillingsudstyr såsom oxidationsovn, diffusionsovn og udglødningsovn, hovedanvendelsen er til wafer-læsning og -aflæsning, understøtter og transporterer wafers under højtemperaturprocesser.
Fælles strukturerafSiCcantileverpaddle: en cantilever-struktur, fastgjort i den ene ende og fri i den anden, har typisk et fladt og pagaj-lignende design.
VET Energy bruger høj renhed omkrystalliseret siliciumcarbid materialer for at garantere kvaliteten.
| Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| Ejendom | Typisk værdi |
| Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC indhold | > 99,96 % |
| Gratis Si-indhold | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
| Kompressionsstyrke | > 600MPa |
| Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk ekspansion ved 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termisk ledningsevne @1200°C | 23W/m•K |
| Elastikmodul | 240 GPa |
| Modstandsdygtighed over for termisk stød | Yderst god |
Fordelene ved VET Energy's Advanced SiC Cantilever Paddle for Wafer Processing er:
-Høj temperaturstabilitet: kan bruges i miljøer over 1600°C;
-Lav termisk udvidelseskoefficient: opretholder dimensionsstabilitet, hvilket reducerer risikoen for waferforvridning;
-Høj renhed: lavere risiko for metalforurening;
-Kemisk inerthed: korrosionsbestandig, velegnet til forskellige gasmiljøer;
-Høj styrke og hårdhed: Slidbestandig, lang levetid;
-God varmeledningsevne: hjælper med ensartet waferopvarmning.
