6 tommer N Type SiC Wafer

Kort beskrivelse:

6 tommer N Type SiC Wafer fra VET Energy er et højtydende substrat designet til avancerede halvlederapplikationer, der tilbyder overlegen termisk ledningsevne og strømeffektivitet. VET Energy anvender banebrydende teknologi til at producere højkvalitets wafere, der opfylder de strenge krav fra moderne elektronik, hvilket sikrer pålidelighed og holdbarhed i kraftenheder.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Denne 6 tommer N Type SiC Wafer er konstrueret til forbedret ydeevne under ekstreme forhold, hvilket gør den til et ideelt valg til applikationer, der kræver høj effekt og temperaturbestandighed. Nøgleprodukter forbundet med denne wafer omfatter Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer og SiN Substrate. Disse materialer sikrer optimal ydeevne i en række halvlederfremstillingsprocesser, hvilket muliggør enheder, der er både energieffektive og holdbare.

For virksomheder, der arbejder med Epi Wafer, Gallium Oxide Ga2O3, Cassette eller AlN Wafer, giver VET Energy's 6 Inch N Type SiC Wafer det nødvendige grundlag for innovativ produktudvikling. Uanset om det er i høj-effekt elektronik eller det nyeste inden for RF-teknologi, sikrer disse wafere fremragende ledningsevne og minimal termisk modstand, og skubber grænserne for effektivitet og ydeevne.

第6页-36
第6页-35

WAFERING SPECIFIKATIONER

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=semi-isolerende

Punkt

8-tommer

6-tommer

4-tommer

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

TTV (GBIR)

≤6um

≤6um

Bow(GF3YFCD)-absolut værdi

≤15μm

≤15μm

≤25μm

≤15μm

Warp (GF3YFER)

≤25μm

≤25μm

≤40μm

≤25μm

LTV(SBIR)-10mmx10mm

<2μm

Wafer Edge

Affasning

OVERFLADE AFSLUTNING

*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=semi-isolerende

Punkt

8-tommer

6-tommer

4-tommer

nP

n-pm

n-Ps

SI

SI

Overfladefinish

Dobbeltsidet optisk polsk, Si-Face CMP

Overfladeruhed

(10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm
C-Face Ra≤ 0,5nm

(5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm
C-Face Ra≤0,5nm

Edge Chips

Ingen tilladt (længde og bredde≥0,5 mm)

Indrykninger

Ingen tilladt

Ridser (Si-Face)

Antal.≤5, kumulativ
Længde≤0,5×wafer diameter

Antal.≤5, kumulativ
Længde≤0,5×wafer diameter

Antal.≤5, kumulativ
Længde≤0,5×wafer diameter

Revner

Ingen tilladt

Kantudelukkelse

3 mm

tech_1_2_størrelse
下载 (2)

  • Tidligere:
  • Næste:

  • WhatsApp online chat!