VET Energy's 8-tommer siliciumskiver er meget udbredt inden for kraftelektronik, sensorer, integrerede kredsløb og andre områder. Som førende inden for halvlederindustrien er vi forpligtet til at levere Si Wafer-produkter af høj kvalitet for at imødekomme vores kunders voksende behov.
Udover Si Wafer, leverer VET Energy også en bred vifte af halvledersubstratmaterialer, herunder SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer osv. Vores produktlinje dækker også nye bredbåndshalvledermaterialer som Gallium Oxide Ga2O3 og AlN Wafer, der yder stærk støtte til udviklingen af næste generations kraftelektroniske enheder.
VET Energy har avanceret produktionsudstyr og et komplet kvalitetsstyringssystem for at sikre, at hver wafer opfylder strenge industristandarder. Vores produkter har ikke kun fremragende elektriske egenskaber, men har også god mekanisk styrke og termisk stabilitet.
VET Energy giver kunderne skræddersyede waferløsninger, herunder wafers af forskellige størrelser, typer og dopingkoncentrationer. Derudover yder vi også professionel teknisk support og eftersalgsservice for at hjælpe kunder med at løse forskellige problemer, der opstår under produktionsprocessen.
WAFERING SPECIFIKATIONER
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=semi-isolerende
Punkt | 8-tommer | 6-tommer | 4-tommer | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD)-absolut værdi | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Affasning |
OVERFLADE AFSLUTNING
*n-Pm=n-type Pm-Grade,n-Ps=n-type Ps-Grade,Sl=semi-isolerende
Punkt | 8-tommer | 6-tommer | 4-tommer | ||
nP | n-pm | n-Ps | SI | SI | |
Overfladefinish | Dobbeltsidet optisk polsk, Si-Face CMP | ||||
Overfladeruhed | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0,2nm | |||
Edge Chips | Ingen tilladt (længde og bredde≥0,5 mm) | ||||
Indrykninger | Ingen tilladt | ||||
Ridser (Si-Face) | Antal.≤5, kumulativ | Antal.≤5, kumulativ | Antal.≤5, kumulativ | ||
Revner | Ingen tilladt | ||||
Kantudelukkelse | 3 mm |