vet-china zajišťuje, že každý odolnýPádlo pro manipulaci s destičkami z karbidu křemíkumá vynikající výkon a odolnost. Tato lopatka pro manipulaci s destičkami z karbidu křemíku využívá pokročilé výrobní procesy, které zajišťují, že její strukturální stabilita a funkčnost zůstane i v prostředí s vysokou teplotou a chemickou korozí. Tento inovativní design poskytuje vynikající podporu pro manipulaci s polovodičovými destičkami, zejména pro vysoce přesné automatizované operace.
Konzolové pádlo SiCje specializovaná součást používaná v zařízeních na výrobu polovodičů, jako jsou oxidační pece, difúzní pece a žíhací pece, hlavní použití je pro nakládání a vykládání destiček, podporuje a přepravuje destičky během vysokoteplotních procesů.
Společné strukturyzSiCcantipákapzkazit se: konzolová konstrukce, upevněná na jednom konci a volná na druhém, má typicky plochý a lopatkovitý design.
PracovnípricinálzSiCcantipákapzkazit se:
Konzolová lopatka se může pohybovat nahoru a dolů nebo tam a zpět v komoře pece, lze ji použít k přesunu destiček z nakládacích oblastí do oblastí zpracování nebo ven z oblastí zpracování, přičemž podpírá a stabilizuje destičky během vysokoteplotního zpracování.
| Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
| Vlastnictví | Typická hodnota |
| Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
| obsah SiC | > 99,96 % |
| Volný obsah Si | < 0,1 % |
| Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Zjevná pórovitost | < 16 % |
| Pevnost v tlaku | > 600 MPa |
| Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
| Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Tepelná vodivost @1200°C | 23 W/m•K |
| Modul pružnosti | 240 GPa |
| Odolnost proti tepelným šokům | Mimořádně dobré |
