MOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVD

Ohřívač substrátu MOCVD, topná tělesa pro MOCVD Doporučený obrázek

Krátký popis:

Chemický grafit

Výhoda: Odolnost vůči vysokým teplotám

Použití: MOCVD/Vakuová pec/horká zóna

Objemová hmotnost: 1,68-1,91 g/cm3

Pevnost v ohybu: 30-46Mpa

Odpor: 7-12μΩm

Pošlete nám e-mail Stáhnout jako PDF

Detail produktu

Štítky produktu

MOCVD ohřívač substrátu, topná tělesa pro MOCVD

Grafitový ohřívač:
Komponenty grafitového ohřívače se používají ve vysokoteplotní peci s teplotou dosahovanou 2200 stupňů ve vakuovém prostředí a 3000 stupňů v prostředí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavní vlastnosti grafitového ohřívače:
1. rovnoměrnost topné struktury.
2. dobrá elektrická vodivost a vysoké elektrické zatížení.
3. odolnost proti korozi.
4. neoxidovatelnost.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnost.
Výhodou je energetická účinnost, vysoká hodnota a nenáročnost na údržbu.
Můžeme vyrobit antioxidační grafitový kelímek s dlouhou životností, grafitovou formu a všechny části grafitového ohřívače.
Hlavní parametry grafitového topidla:

Technická specifikace	VET-M3
Objemová hustota (g/cm3)	≥1,85
Obsah popela (PPM)	≤500
Tvrdost Shore	≥45
Specifický odpor (μ.Ω.m)	≤12
Pevnost v ohybu (Mpa)	≥40
Pevnost v tlaku (Mpa)	≥70
Max. Velikost zrna (μm)	≤43
Součinitel tepelné roztažnosti Mm/°C	≤4,4*10-6

Grafitový ohřívač pro elektrickou pec má vlastnosti tepelné odolnosti, odolnosti proti oxidaci, dobré elektrické vodivosti a lepší mechanické náročnosti. Můžeme obrábět různé typy grafitových ohřívačů podle návrhů zákazníků.