PokročiléKonzolové pádlo SiCfor Wafer Processing vytvořený vet-china poskytuje vynikající řešení pro výrobu polovodičů. Tato konzolová pádla je vyrobena z materiálu SiC (karbid křemíku) a její vysoká tvrdost a tepelná odolnost jí umožňuje udržovat vynikající výkon ve vysokoteplotním a korozivním prostředí. Konstrukce Cantilever Paddle umožňuje spolehlivou podporu waferu během zpracování, čímž se snižuje riziko fragmentace a poškození.
Konzolové pádlo SiCje specializovaná součást používaná v zařízeních na výrobu polovodičů, jako jsou oxidační pece, difúzní pece a žíhací pece, hlavní použití je pro nakládání a vykládání destiček, podporuje a přepravuje destičky během vysokoteplotních procesů.
Společné strukturyzSiCcantipákapzkazit se: konzolová konstrukce, upevněná na jednom konci a volná na druhém, má typicky plochý a lopatkovitý design.
VET Energy používá vysoce čisté materiály z rekrystalizovaného karbidu křemíku, aby byla zaručena kvalita.
| Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku | |
| Vlastnictví | Typická hodnota |
| Pracovní teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí) |
| obsah SiC | > 99,96 % |
| Volný obsah Si | < 0,1 % |
| Objemová hmotnost | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Zjevná pórovitost | < 16 % |
| Pevnost v tlaku | > 600MPa |
| Pevnost v ohybu za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
| Pevnost v ohybu za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Tepelná roztažnost @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Tepelná vodivost @1200°C | 23W/m•K |
| Modul pružnosti | 240 GPa |
| Odolnost proti tepelným šokům | Mimořádně dobré |
Výhody pokročilého SiC konzolového pádla společnosti VET Energy pro zpracování plátků jsou:
-Vysoká teplotní stabilita: použitelné v prostředí nad 1600°C;
-Nízký koeficient tepelné roztažnosti: udržuje rozměrovou stabilitu, snižuje riziko deformace plátků;
-Vysoká čistota: nižší riziko kontaminace kovů;
-Chemická inertnost: odolná proti korozi, vhodná pro různá plynná prostředí;
-Vysoká pevnost a tvrdost: Odolný proti opotřebení, dlouhá životnost;
- Dobrá tepelná vodivost: pomáhá při rovnoměrném ohřevu plátků.
-
Tovární zdroj Vysoce kvalitní elektrolyt pro Van...
-
Iontoměničová membrána palivových článků, Vanadium Redox...
-
Elektrická/elektrická vakuová pumpa s rotační lopatkou UP30
-
Vodíkový palivový článek 1kw Palivový článek 24v Přenosný P...
-
Pemfc Stack Vodíkový palivový článek Drone Palivový článek ...
-
Generátor palivových článků Vodík Přenosný vodík...