Jak čistit PECVD grafitový člun？| Energie odborného vzdělávání a přípravy

1. Potvrzení před čištěním

1) KdyžPECVD grafitový člun/nosič je použit více než 100 až 150krát, obsluha potřebuje včas zkontrolovat stav nátěru. Pokud existuje abnormální povlak, je třeba jej vyčistit a potvrdit. Normální barva povlaku křemíkového plátku v grafitovém člunu/nosiči je modrá. Pokud má plátek nemodré, více barev nebo je barevný rozdíl mezi plátky velký, jedná se o abnormální povlak a příčinu abnormality je třeba potvrdit včas.
2) Poté, co pracovníci procesu analyzují stav povlakuPECVD grafitový člun/přepravce, určí, zda je potřeba vyčistit grafitový člun a zda je potřeba vyměnit kartový bod, a grafitový člun/nosič, který je potřeba vyčistit, předá k čištění personálu zařízení.

 

3) Pografitový člun/nosič je poškozen, výrobní personál vyjme všechny křemíkové plátky v grafitovém člunu a pomocí CDA (stlačený vzduch) vytřídí úlomky vgrafitový člun. Po dokončení jej personál zařízení zvedne do nádrže na kyselinu, která byla připravena s určitým podílem roztoku HF k čištění.

 

2. Čištění grafitové lodi

Doporučuje se použít 15-25% roztok kyseliny fluorovodíkové pro tři kola čištění, každé po dobu 4-5 hodin, a periodicky probublávat dusík během procesu namáčení a čištění s přidáním asi půl hodiny čištění; poznámka: nedoporučuje se používat přímo vzduch jako zdroj plynu pro probublávání. Po moření proplachujte čistou vodou asi 10 hodin a ujistěte se, že byla loď důkladně vyčištěna. Po vyčištění zkontrolujte povrch člunu, hrot grafitové karty a spoj lodního plechu a další díly, zda nezůstaly zbytky nitridu křemíku. Poté vysušte podle požadavků.

3. Opatření pro čištění

A) Vzhledem k tomu, že kyselina HF je vysoce korozivní látka a má určitou těkavost, je pro obsluhu nebezpečná. Operátoři na čistícím stanovišti proto musí přijmout bezpečnostní opatření a být řízeni specializovanou osobou.

B) Doporučuje se člun rozebrat a při čištění čistit pouze grafitovou část, aby bylo možné důkladněji vyčistit každou kontaktní část. V současné době mnoho tuzemských výrobců používá celkové čištění, které je pohodlné, ale protože kyselina HF je pro keramické díly korozivní, celkové čištění zkrátí životnost odpovídajících dílů.