ohřívač keramického povlaku z karbidu křemíku

Vet-ČínaKeramika z karbidu křemíkuPovlak je vysoce výkonný ochranný povlak vyrobený z extrémně tvrdého a odolného proti opotřebeníkarbid křemíku (SiC)materiál, který poskytuje vynikající chemickou odolnost proti korozi a vysokou teplotní stabilitu. Tyto vlastnosti jsou rozhodující při výrobě polovodičů, tznKeramický povlak z karbidu křemíkuje široce používán v klíčových součástech zařízení pro výrobu polovodičů.

Specifická role Vet-ČínaKeramika z karbidu křemíkuPovlak při výrobě polovodičů je následující:

Zvyšte životnost zařízení:Keramický povlak z karbidu křemíku Keramický povlak z karbidu křemíku poskytuje díky extrémně vysoké tvrdosti a odolnosti proti opotřebení vynikající povrchovou ochranu zařízení na výrobu polovodičů. Zejména ve vysokoteplotních a vysoce korozních procesních prostředích, jako je chemická depozice z plynné fáze (CVD) a plazmové leptání, může povlak účinně zabránit poškození povrchu zařízení chemickou erozí nebo fyzickým opotřebením, a tím výrazně prodloužit životnost zařízení. zařízení a snížení prostojů způsobených častou výměnou a opravou.

Zlepšení čistoty procesu:V procesu výroby polovodičů může drobná kontaminace způsobit vady produktu. Chemická inertnost keramického povlaku z karbidu křemíku umožňuje, aby zůstal stabilní za extrémních podmínek, čímž zabraňuje uvolňování částic nebo nečistot z materiálu, čímž zajišťuje ekologickou čistotu procesu. To je zvláště důležité pro výrobní kroky, které vyžadují vysokou přesnost a vysokou čistotu, jako je PECVD a iontová implantace.

Optimalizace tepelného managementu:Při vysokoteplotním zpracování polovodičů, jako je rychlé tepelné zpracování (RTP) a oxidační procesy, umožňuje vysoká tepelná vodivost keramického povlaku z karbidu křemíku rovnoměrné rozložení teploty uvnitř zařízení. To pomáhá snižovat tepelné namáhání a deformace materiálu způsobené kolísáním teploty, čímž se zlepšuje přesnost a konzistence výroby produktu.

Podpora komplexních procesních prostředí:V procesech, které vyžadují komplexní řízení atmosféry, jako je ICP leptání a PSS leptací procesy, stabilita a odolnost proti oxidaci keramického povlaku z karbidu křemíku zajišťuje, že si zařízení udrží stabilní výkon v dlouhodobém provozu, čímž se snižuje riziko degradace materiálu nebo poškození zařízení v důsledku ke změnám prostředí.