Grafitový půlměsíc potažený SiC pro epitaxní zařízení z karbidu křemíku

Krátký popis:

Představení a použití produktu: Připojená křemenná trubice, může procházet plynem pro řízení rotace základny podnosu, regulace teploty

Umístění produktu: v reakční komoře, není v přímém kontaktu s plátkem

Hlavní následné produkty: napájecí zařízení

Hlavní trh terminálů: nová energetická vozidla

 


Detail produktu

Štítky produktu

Grafitová půlměsícová část potažená SiCis a klíčsoučást používaná v procesech výroby polovodičů, zejména pro epitaxní zařízení SiC.K výrobě půlměsícové části používáme naši patentovanou technologiiextrémně vysoká čistota,dobrýpovlakjednotnosta vynikající životnost, stejně jakovysoká chemická odolnost a tepelná stabilita.

VET Energy je askutečný výrobce přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s CVD povlakem,může dodatrůznézakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Ováš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže poskytnout profesionálnější materiálová řešenípro vás.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom poskytovali pokročilejší materiály,avyvinuli exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi nátěrem a substrátem těsnější a méně náchylné k odlepení.

Fvlastnosti našich produktů:

1. Vysoká teplotní odolnost proti oxidaci až do 1700.
2. Vysoká čistota atepelná rovnoměrnost
3. Vynikající odolnost proti korozi: kyselinám, zásadám, solím a organickým činidlům.
4. Vysoká tvrdost, kompaktní povrch, jemné částice.
5. Delší životnost a odolnější

CVD SiC薄膜基本物理性能

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak

性质 / Nemovitosti

典型数值 / Typická hodnota

晶体结构 / Krystalová struktura

FCC β fáze多晶,主要为(111)取向

密度 / Hustota

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdost

2500 维氏硬度(500g náplň)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10μm

纯度 / Chemická čistota

99,99995 %

热容 / Tepelná kapacita

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Teplota sublimace

2700 ℃

抗弯强度 / Pevnost v ohybu

415 MPa RT 4-bod

杨氏模量 / Youngův modul

Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermalVodivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Tepelná expanze (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme dále diskutovat!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Předchozí:
  • Další:

  • WhatsApp online chat!