Издръжлива гребло за обработка на пластини от силициев карбид

Кратко описание:

vet-china осигурява отлична трайна гребло за манипулиране на вафли от силициев карбид, която съчетава висока производителност и иновативен дизайн, за да осигури ефективно и безопасно боравене с вафли. Със своята издръжливост и прецизност лопатката за манипулиране на силициево-карбонови пластини на vet-china е незаменим инструмент във вашия производствен процес на полупроводници, като подобрява ефективността на производството и намалява риска от отломки.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

vet-china гарантира, че всеки DurableГребло за манипулиране на пластини от силициев карбидима отлична производителност и издръжливост. Тази лопатка за манипулиране на пластини от силициев карбид използва усъвършенствани производствени процеси, за да гарантира, че нейната структурна стабилност и функционалност остават при висока температура и среда с химическа корозия. Този иновативен дизайн осигурява отлична поддръжка за работа с полупроводникови пластини, особено за високопрецизни автоматизирани операции.

SiC конзолна греблое специализиран компонент, използван в оборудване за производство на полупроводници като окислителна пещ, дифузионна пещ и пещ за отгряване, основната употреба е за зареждане и разтоварване на пластини, поддържа и транспортира пластини по време на високотемпературни процеси.

Общи структуринаSiCcантилостpдобавка: конзолна конструкция, фиксирана в единия край и свободна в другия, обикновено има плосък и подобен на гребло дизайн.

РаботещpпринципнаSiCcантилостpдобавка:

Конзолната лопатка може да се движи нагоре и надолу или напред и назад в камерата на пещта, може да се използва за преместване на пластини от зоните за зареждане към зоните за обработка или извън зоните за обработка, като поддържа и стабилизира пластините по време на високотемпературна обработка.

Физични свойства на рекристализирания силициев карбид

Собственост

Типична стойност

Работна температура (°C)

1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)

Съдържание на SiC

> 99,96%

Безплатно Si съдържание

< 0,1%

Обемна плътност

2,60-2,70 g/cm3

Видима порьозност

< 16%

Сила на натиск

> 600 MPa

Якост на студено огъване

80-90 MPa (20°C)

Якост на горещо огъване

90-100 MPa (1400°C)

Термично разширение @1500°C

4,70 10-6/°C

Топлопроводимост @1200°C

23 W/m•K

Модул на еластичност

240 GPa

Устойчивост на термичен удар

Изключително добре

Конзолно гребло9
Конзолно гребло8
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Предишен:
  • следващ:

  • Онлайн чат WhatsApp!