vet-china гарантира, че всеки DurableГребло за манипулиране на пластини от силициев карбидима отлична производителност и издръжливост. Тази лопатка за манипулиране на пластини от силициев карбид използва усъвършенствани производствени процеси, за да гарантира, че нейната структурна стабилност и функционалност остават при висока температура и среда с химическа корозия. Този иновативен дизайн осигурява отлична поддръжка за работа с полупроводникови пластини, особено за високопрецизни автоматизирани операции.
SiC конзолна греблое специализиран компонент, използван в оборудване за производство на полупроводници като окислителна пещ, дифузионна пещ и пещ за отгряване, основната употреба е за зареждане и разтоварване на пластини, поддържа и транспортира пластини по време на високотемпературни процеси.
Общи структуринаSiCcантилостpдобавка: конзолна конструкция, фиксирана в единия край и свободна в другия, обикновено има плосък и подобен на гребло дизайн.
РаботещpпринципнаSiCcантилостpдобавка:
Конзолната лопатка може да се движи нагоре и надолу или напред и назад в камерата на пещта, може да се използва за преместване на пластини от зоните за зареждане към зоните за обработка или извън зоните за обработка, като поддържа и стабилизира пластините по време на високотемпературна обработка.
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Собственост | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC | > 99,96% |
Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600 MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлопроводимост @1200°C | 23 W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добре |