Графитни подложки/носители с покритие от силициев карбид за полупроводници

Графитни субстрати/носители с покритие от силициев карбид за полупроводници Представено изображение

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Място на произход:Zhejiang, Китай (континентален)

Номер на модела:Лодка3004

Химичен състав:Графит с SiC покритие

Якост на огъване:470Mpa

Топлопроводимост:300 W/mK

качество:перфектен

функция:CVD-SiC

Приложение:Полупроводникови/фотоволтаични

Плътност:3,21 g/cc

Топлинно разширение:4 10-6/K

Пепел: <5 ppm

проба:Наличен

Код по ХС:6903100000

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Графитният ток с покритие от SiC е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. ние използваме нашата патентована технология, за да направим приемника с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и висока химическа устойчивост и термична стабилност.

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700 ℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!