нагревател с керамично покритие от силициев карбид

Вет-КитайСилициево-карбидна керамикаПокритието е високоефективно защитно покритие, изработено от изключително твърдо и устойчиво на износванесилициев карбид (SiC)материал, който осигурява отлична устойчивост на химическа корозия и устойчивост на висока температура. Тези характеристики са от решаващо значение при производството на полупроводници, така чеКерамично покритие от силициев карбидсе използва широко в ключови компоненти на оборудването за производство на полупроводници.

Специфичната роля на Vet-ChinaСилициево-карбидна керамикаПокритието в производството на полупроводници е както следва:

Увеличете издръжливостта на оборудването:Керамично покритие от силициев карбид Керамичното покритие от силициев карбид осигурява отлична повърхностна защита за оборудване за производство на полупроводници със своята изключително висока твърдост и устойчивост на износване. Особено при високотемпературни и силно корозивни процеси, като химическо отлагане на пари (CVD) и плазмено ецване, покритието може ефективно да предотврати повреждането на повърхността на оборудването от химическа ерозия или физическо износване, като по този начин значително удължава експлоатационния живот на оборудването и намаляване на времето за престой, причинено от честа подмяна и ремонт.

Подобрете чистотата на процеса:В процеса на производство на полупроводници, малко замърсяване може да причини дефекти на продукта. Химическата инертност на Silicon Carbide Ceramic Coating му позволява да остане стабилен при екстремни условия, предотвратявайки отделянето на частици или примеси от материала, като по този начин гарантира екологичната чистота на процеса. Това е особено важно за етапи на производство, които изискват висока прецизност и висока чистота, като PECVD и йонна имплантация.

Оптимизирайте управлението на топлината:При високотемпературна обработка на полупроводници, като бърза термична обработка (RTP) и процеси на окисление, високата топлопроводимост на керамичното покритие от силициев карбид позволява равномерно разпределение на температурата вътре в оборудването. Това помага за намаляване на топлинния стрес и деформацията на материала, причинени от температурни колебания, като по този начин подобрява точността и последователността на производството на продукта.

Поддръжка на сложни среди на процеси:В процеси, които изискват сложен контрол на атмосферата, като процеси на ICP ецване и PSS ецване, стабилността и устойчивостта на окисляване на силициевия карбид керамично покритие гарантират, че оборудването поддържа стабилна производителност при дългосрочна работа, намалявайки риска от влошаване на качеството на материала или повреда на оборудването поради към промените в околната среда.