Как да почистите PECVD графитна лодка？| ПОО Енергия

1. Потвърждение преди почистване

1) КогатоPECVD графитна лодка/носителят се използва повече от 100 до 150 пъти, операторът трябва да провери навреме състоянието на покритието. Ако има необичайно покритие, то трябва да се почисти и потвърди. Нормалният цвят на покритието на силиконовата пластина в графитната лодка/носител е син. Ако вафлата не е синя, има множество цветове или разликата в цвета между вафлите е голяма, това е необичайно покритие и причината за аномалията трябва да бъде потвърдена навреме.
2) След процеса персоналът анализира състоянието на покритието наPECVD графитна лодка/носител, те ще определят дали графитната лодка трябва да бъде почистена и дали точката на картата трябва да бъде сменена, а графитната лодка/носач, която трябва да бъде почистена, ще бъде предадена на персонала на оборудването за почистване.

 

3) Следграфитна лодка/носителят е повреден, производственият персонал ще извади всички силиконови пластини в графитната лодка и ще използва CDA (сгъстен въздух), за да сортира фрагментите вграфитна лодка. След завършване персоналът на оборудването ще го вдигне в резервоара за киселина, който е приготвен с определена пропорция HF разтвор за почистване.

 

2. Почистване на графитни лодки

Препоръчително е да се използва 15-25% разтвор на флуороводородна киселина за три цикъла на почистване, всеки за 4-5 часа, и периодично да се барботира азот по време на процеса на накисване и почистване, като се добавя около половин час почистване; забележка: не се препоръчва да се използва директно въздух като източник на газ за барботиране. След мариноване изплакнете с чиста вода за около 10 часа и се уверете, че лодката е старателно почистена. След почистване, моля, проверете повърхността на лодката, върха на графитната карта и съединението на покрива на лодката, както и други части, за да видите дали има остатъци от силициев нитрид. След това изсушете според изискванията.

3. Предпазни мерки при почистване

A) Тъй като HF киселината е силно корозивно вещество и има известна летливост, тя е опасна за операторите. Поради това операторите в пункта за почистване трябва да вземат мерки за безопасност и да бъдат управлявани от специално лице.

B) Препоръчително е да разглобите лодката и да почистите само графитната част по време на почистването, така че всяка контактна част да може да бъде почистена по-щателно. Понастоящем много местни производители използват цялостно почистване, което е удобно, но тъй като HF киселината е корозивна за керамичните части, цялостното почистване ще съкрати експлоатационния живот на съответните части.