РазширенотоSiC конзолна греблоfor Wafer Processing, създаден от vet-china, осигурява отлично решение за производство на полупроводници. Това конзолно гребло е направено от материал SiC (силициев карбид) и неговата висока твърдост и устойчивост на топлина му позволяват да поддържа отлична производителност при висока температура и корозивна среда. Дизайнът на Cantilever Paddle позволява надеждната опора на пластината по време на обработка, намалявайки риска от раздробяване и повреда.
SiC конзолна греблое специализиран компонент, използван в оборудване за производство на полупроводници като окислителна пещ, дифузионна пещ и пещ за отгряване, основната употреба е за зареждане и разтоварване на пластини, поддържа и транспортира пластини по време на високотемпературни процеси.
Общи структуринаSiCcантилостpдобавка: конзолна конструкция, фиксирана в единия край и свободна в другия, обикновено има плосък и подобен на гребло дизайн.
VET Energy използва материали от рекристализиран силициев карбид с висока чистота, за да гарантира качеството.
Физични свойства на рекристализирания силициев карбид | |
Собственост | Типична стойност |
Работна температура (°C) | 1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда) |
Съдържание на SiC | > 99,96% |
Безплатно Si съдържание | < 0,1% |
Обемна плътност | 2,60-2,70 g/cm3 |
Видима порьозност | < 16% |
Сила на натиск | > 600MPa |
Якост на студено огъване | 80-90 MPa (20°C) |
Якост на горещо огъване | 90-100 MPa (1400°C) |
Термично разширение @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Топлопроводимост @1200°C | 23W/m•K |
Модул на еластичност | 240 GPa |
Устойчивост на термичен удар | Изключително добре |
Предимствата на Advanced SiC Contilever Paddle на VET Energy за обработка на вафли са:
-Висока температурна стабилност: използваема в среда над 1600°C;
- Нисък коефициент на термично разширение: поддържа стабилност на размерите, намалявайки риска от деформация на пластината;
-Висока чистота: по-нисък риск от замърсяване с метал;
-Химическа инертност: устойчив на корозия, подходящ за различни газови среди;
-Висока якост и твърдост: Устойчив на износване, дълъг експлоатационен живот;
-Добра топлопроводимост: помага за равномерно нагряване на вафли.