Усъвършенствана конзолна лопатка от SiC за обработка на вафли

Кратко описание:

Усъвършенстваната SiC конзолна лопатка за обработка на вафли, пусната от vet-china, използва високотехнологични SiC материали за подобряване на ефективността и прецизността на обработката на вафли. Конзолната лопатка на Vet-china се отличава с отлична устойчивост на топлина и устойчивост на корозия, осигурявайки стабилна производителност при работа с вафли в тежки производствени среди, което я прави идеален избор за подобряване на производствения добив.


Подробности за продукта

Продуктови етикети

РазширенотоSiC конзолна греблоfor Wafer Processing, създаден от vet-china, осигурява отлично решение за производство на полупроводници. Това конзолно гребло е направено от материал SiC (силициев карбид) и неговата висока твърдост и устойчивост на топлина му позволяват да поддържа отлична производителност при висока температура и корозивна среда. Дизайнът на Cantilever Paddle позволява надеждната опора на пластината по време на обработка, намалявайки риска от раздробяване и повреда.

SiC конзолна греблое специализиран компонент, използван в оборудване за производство на полупроводници като окислителна пещ, дифузионна пещ и пещ за отгряване, основната употреба е за зареждане и разтоварване на пластини, поддържа и транспортира пластини по време на високотемпературни процеси.

Общи структуринаSiCcантилостpдобавка: конзолна конструкция, фиксирана в единия край и свободна в другия, обикновено има плосък и подобен на гребло дизайн.

VET Energy използва материали от рекристализиран силициев карбид с висока чистота, за да гарантира качеството.

Физични свойства на рекристализирания силициев карбид

Собственост

Типична стойност

Работна температура (°C)

1600°C (с кислород), 1700°C (редуцираща среда)

Съдържание на SiC

> 99,96%

Безплатно Si съдържание

< 0,1%

Обемна плътност

2,60-2,70 g/cm3

Видима порьозност

< 16%

Сила на натиск

> 600MPa

Якост на студено огъване

80-90 MPa (20°C)

Якост на горещо огъване

90-100 MPa (1400°C)

Термично разширение @1500°C

4,70 10-6/°C

Топлопроводимост @1200°C

23W/m•K

Модул на еластичност

240 GPa

Устойчивост на термичен удар

Изключително добре

Предимствата на Advanced SiC Contilever Paddle на VET Energy за обработка на вафли са:

-Висока температурна стабилност: използваема в среда над 1600°C;

- Нисък коефициент на термично разширение: поддържа стабилност на размерите, намалявайки риска от деформация на пластината;

-Висока чистота: по-нисък риск от замърсяване с метал;

-Химическа инертност: устойчив на корозия, подходящ за различни газови среди;

-Висока якост и твърдост: Устойчив на износване, дълъг експлоатационен живот;

-Добра топлопроводимост: помага за равномерно нагряване на вафли.

Конзолно гребло10
Конзолно гребло16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • Предишен:
  • следващ:

  • Онлайн чат WhatsApp!