Графитна полумесечна част с покритие от SiC за епитаксиално оборудване от силициев карбид

Кратко описание:

Въвеждане и използване на продукта: Свързана кварцова тръба, може да пропуска газ за задвижване на въртенето на основата на тавата, контрол на температурата

Местоположение на устройството на продукта: в реакционната камера, без пряк контакт с пластината

Основни продукти надолу по веригата: захранващи устройства

Основен пазар на терминали: нови енергийни превозни средства

 


Подробности за продукта

Продуктови етикети

SiC покрита графитна част Halfmoonis a ключкомпонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено за SiC епитаксиално оборудване.Ние използваме нашата патентована технология, за да направим частта на полумесецаизключително висока чистота,добрепокритиееднаквости отличен експлоатационен живот, както ивисока химическа устойчивост и термична стабилност.

ПОО Енергия е наистински производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с CVD покритие,може да доставиразличниперсонализирани части за полупроводникова и фотоволтаична индустрия. OВашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решенияза вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-модерни материали,иса разработили изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Fхарактеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700.
2. Висока чистота итоплинна еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основни физични свойства на CVD SiCпокритие

性质 / Имот

典型数值 / Типична стойност

晶体结构 / Кристална структура

FCC β фаза多晶,主要为(111) 取向

密度 / Плътност

3,21 g/cm³

硬度 / Твърдост

2500 维氏硬度(500g товар)

晶粒大小 / Размер на зърното

2~10μm

纯度 / Химическа чистота

99,99995%

热容 / Топлинен капацитет

640 J·kg-1·К-1

升华温度 / Температура на сублимация

2700 ℃

抗弯强度 / Якост на огъване

415 MPa RT 4-точков

杨氏模量 / Модулът на Йънг

430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃

导热系数 / ТермалПроводимост

300W·m-1·К-1

热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Предишен:
  • следващ:

  • Онлайн чат WhatsApp!