Silicon Carbide Coating Graphite Tray Awo ati Ideri

Apejuwe kukuru:

VET Energy silikoni carbide ti a bo awo graphite ati ideri jẹ ọja iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ deede ati igbẹkẹle lori akoko gigun. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

Agbara VETOhun alumọni Carbide Coating Graphite Atẹ, Awo, ati Ideri ti ni imọ-ẹrọ lati fi iṣẹ ṣiṣe oke-ipele, pese iṣẹ ti o gbẹkẹle ati deede lori lilo gigun, ṣiṣe ni yiyan pataki fun awọn ohun elo sisẹ wafer ni ile-iṣẹ semikondokito. Yi ga-išẹOhun alumọni Carbide Coating Graphite AwoIṣogo resistance igbona ailẹgbẹ, iṣọkan igbona ti o ga julọ, ati iduroṣinṣin kemikali to dayato, ni pataki ni awọn ipo iwọn otutu giga. Itumọ mimọ-giga rẹ, papọ pẹlu ilodisi ogbara to ti ni ilọsiwaju, jẹ ki o ṣe pataki fun awọn agbegbe ti o nbeere gẹgẹbiMOCVD alailagbara.

Awọn ẹya pataki ti Silicon Carbide Coating Graphite Tray, Awo, ati Ideri

1. Resistance Oxidation Ooru-giga:Lodi awọn iwọn otutu to 1700 ℃, muu ṣiṣẹ lati ṣe igbẹkẹle ni awọn ipo to gaju.

2. Iwa Mimo giga ati Isokan Gbona:Iwa mimọ giga deede ati paapaa pinpin ooru jẹ pataki fun awọn ohun elo MOCVD.

3. Atako Ipata Iyatọ:Sooro si acids, alkalis, iyọ, ati ọpọlọpọ awọn reagents Organic, aridaju iduroṣinṣin igba pipẹ ni awọn agbegbe oniruuru.

4. Lile Giga ati Iwapọ Ilẹ:Awọn ẹya dada ipon pẹlu awọn patikulu ti o dara, imudarasi agbara gbogbogbo ati resistance lati wọ.

5. Igbesi aye Iṣẹ ti o gbooro:Imọ-ẹrọ fun igbesi aye gigun, ti o ṣe adaṣe ti aṣaohun alumọni carbide-ti a bo lẹẹdi susceptorsni simi semikondokito processing agbegbe.

CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo
性质 / Ohun ini	典型数值 / Aṣoju Iye
晶体结构 / Crystal Be	FCC β ipele多晶，主要为（111)取向
密度 / iwuwo	3.21 g/cm³
硬度 / Lile	2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)
晶粒大小 / Ọkà SiZe	2 ~ 10μm
纯度 / Kemikali ti nw	99.99995%
热容 / Ooru Agbara	640 · kg^-1· K^-1
升华温度 / Sublimation otutu	2700 ℃
抗弯强度 / Agbara Flexural	415 MPa RT 4-ojuami
杨氏模量 / Young's Modul	430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃
导热系数 / ThermalIwa ihuwasi	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Imọye Agbara VET ni Adani Lẹẹdi ati Awọn solusan Silicon Carbide

Gẹgẹbi olupese ti o ni igbẹkẹle, VET Energy ṣe amọja ni awọn ifura graphite ti a ṣe apẹrẹ ti aṣa ati awọn solusan ibora silikoni. A nfunni ni ọpọlọpọ awọn ọja ti a ṣe fun semikondokito ati awọn ile-iṣẹ fọtovoltaic, pẹluSiC-ti a bo lẹẹdi irinšebi awọn atẹ, awọn awo, ati awọn ideri. Tito sile ọja wa tun pẹlu awọn aṣayan ibora oniruuru, gẹgẹbiSiC ti a bo fun MOCVD, TaC ti a bo, gilasi erogba ti a bo, ati ideri erogba pyrolytic, ni idaniloju pe a pade awọn ibeere oriṣiriṣi ti awọn ile-iṣẹ imọ-ẹrọ giga.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ ti o ni iriri, ti o ni awọn amoye lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, pese awọn solusan ohun elo okeerẹ fun awọn alabara. A ṣe atunṣe awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo, pẹlu imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ ti o mu ki asopọ pọ laarin ohun elo ohun alumọni ohun alumọni ati sobusitireti lẹẹdi, idinku eewu ti iyọkuro ati gigun siwaju si igbesi aye ọja naa.

Awọn ohun elo ati awọn anfani ni iṣelọpọ Semikondokito

AwọnOhun alumọni Carbide aso fun MOCVDjẹ ki awọn ifarasi graphite wọnyi munadoko gaan ni iwọn otutu giga, awọn agbegbe ibajẹ. Boya lilo bi awọn gbigbe wafer graphite tabi awọn paati MOCVD miiran, awọn ifura ti a bo silikoni carbide ṣe afihan agbara giga ati iṣẹ ṣiṣe. Fun awon ti koni gbẹkẹle solusan ninu awọnSiC-ti a bo lẹẹdi susceptorọja, VET Energy's silicon carbide-coated graphite atẹ, awo, ati ideri nfunni ni aṣayan ti o lagbara ati wapọ ti o pade awọn ibeere lile ti ile-iṣẹ semikondokito.

Nipa aifọwọyi lori imọ-jinlẹ ohun elo to ti ni ilọsiwaju, VET Energy ti pinnu lati jiṣẹ iṣẹ-giga SiC ti o ni awọn solusan graphite ti o wakọ ĭdàsĭlẹ ni iṣelọpọ semikondokito ati rii daju iṣẹ igbẹkẹle ni gbogbo awọn ohun elo ti o ni ibatan MOCVD.

Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ gidi ti lẹẹdi ti adani ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni pẹlu awọn ibora oriṣiriṣi bii ibora SiC, ibora TaC, ideri erogba gilasi, ibora erogba pyrolytic, ati bẹbẹ lọ, le pese ọpọlọpọ awọn ẹya ti adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

A n ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, ati pe a ti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si itusilẹ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!