Bii o ṣe le nu ọkọ oju omi graphite PECVD mọ?| Agbara VET

1. Ifọwọsi ṣaaju ki o to nu

1) Nigbati awọnPECVD lẹẹdi ọkọ/ ti ngbe ni lilo diẹ sii ju 100 si awọn akoko 150, oniṣẹ nilo lati ṣayẹwo ipo ti a bo ni akoko. Ti ibora ajeji ba wa, o nilo lati sọ di mimọ ki o jẹrisi. Awọ ibora deede ti ohun alumọni wafer ninu ọkọ oju omi graphite / ti ngbe jẹ buluu. Ti wafer ko ba ni buluu, awọn awọ pupọ, tabi iyatọ awọ laarin awọn wafers ti o tobi, o jẹ awọ ti ko dara, ati pe idi ti aiṣedeede nilo lati jẹrisi ni akoko.
2) Lẹhin ti awọn eniyan ilana itupalẹ awọn ti a bo majemu ti awọnPECVD lẹẹdi ọkọ/ ti ngbe, wọn yoo pinnu boya ọkọ oju omi graphite nilo lati sọ di mimọ ati boya aaye kaadi nilo lati paarọ rẹ, ati ọkọ oju omi graphite / ti ngbe ti o nilo lati sọ di mimọ ni ao fi fun awọn oṣiṣẹ ẹrọ fun mimọ.

 

3) Lẹhin tilẹẹdi ọkọ/ ti ngbe ti bajẹ, awọn oṣiṣẹ iṣelọpọ yoo mu gbogbo awọn ohun alumọni silikoni jade ninu ọkọ oju omi graphite ati lo CDA (afẹfẹ fisinuirindigbindigbin) lati to awọn ajẹkù ninulẹẹdi ọkọ. Lẹhin ipari, awọn oṣiṣẹ ẹrọ yoo gbe e sinu ojò acid ti o ti pese sile pẹlu ipin kan ti ojutu HF fun mimọ.

 

2. Ninu ti lẹẹdi ọkọ

A ṣe iṣeduro lati lo ojutu 15-25% hydrofluoric acid fun awọn iyipo mẹta ti mimọ, ọkọọkan fun awọn wakati 4-5, ati ni igba diẹ bubbling nitrogen lakoko ilana gbigbe ati mimọ, fifi nipa idaji wakati kan ti mimọ; akiyesi: ko ṣe iṣeduro lati lo afẹfẹ taara bi orisun gaasi fun bubbling. Lẹhin gbigbe, fi omi ṣan pẹlu omi mimọ fun bii wakati 10, ki o jẹrisi pe ọkọ oju-omi naa ti di mimọ daradara. Lẹhin ti nu, jọwọ ṣayẹwo awọn dada ti awọn ọkọ, awọn graphite kaadi ojuami ati awọn ọkọ ojuomi dì isẹpo, ati awọn miiran awọn ẹya ara lati ri ti o ba ti wa ni eyikeyi silikoni nitride aloku. Lẹhinna gbẹ ni ibamu si awọn ibeere.

3. Ninu awọn iṣọra

A) Niwọn igba ti HF acid jẹ nkan ti o bajẹ pupọ ati pe o ni iyipada kan, o lewu si awọn oniṣẹ. Nitorinaa, awọn oniṣẹ ni ifiweranṣẹ mimọ gbọdọ ṣe awọn iṣọra ailewu ati ni iṣakoso nipasẹ eniyan iyasọtọ.

B) A ṣe iṣeduro lati ṣajọ ọkọ oju-omi kekere ati ki o nu apakan graphite nikan lakoko mimọ, ki apakan olubasọrọ kọọkan le di mimọ diẹ sii daradara. Ni bayi, ọpọlọpọ awọn aṣelọpọ ile lo mimọ gbogbogbo, eyiti o rọrun, ṣugbọn nitori pe HF acid jẹ ibajẹ si awọn ẹya seramiki, mimọ gbogbogbo yoo kuru igbesi aye iṣẹ ti awọn apakan ti o baamu.