Awọn Sobusitireti Graphite/Awọn aruṣẹ pẹlu Silicon Carbide Coating fun Semikondokito

Awọn Sobusitireti Graphite/Awọn aruṣẹ pẹlu Iso Silicon Carbide fun Aworan Ifihan Semikondokito

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Coated Graphite Susceptor jẹ ọja ti o ni iṣẹ giga ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

Ibi ti Oti:Zhejiang, Ṣáínà (Ilẹ̀ Gẹ̀ẹ́sì)

Nọmba awoṣe:Ọkọ oju omi3004

Iṣọkan Kemikali:SiC ti a bo lẹẹdi

Agbara Flexor:470Mpa

Imudara igbona:300 W/mK

Didara:Pipe

Iṣẹ:CVD-SiC

Ohun elo:Semikondokito / Photovoltaic

Ìwúwo:3,21 g/cc

Imugboroosi igbona:4 10-6/K

Eeru: <5ppm

Apeere:O wa

Koodu HS:6903100000

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

Susceptor graphite ti a bo SiC jẹ paati bọtini ti a lo ni ọpọlọpọ awọn ilana iṣelọpọ semikondokito. a lo imọ-ẹrọ itọsi wa lati ṣe alailagbara pẹlu mimọ ti o ga julọ, aṣọ aṣọ ti o dara ati igbesi aye iṣẹ ti o dara julọ, bakanna bi resistance kemikali giga ati awọn ohun-ini iduroṣinṣin gbona.

Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo
性质 / Ohun ini	典型数值 / Aṣoju Iye
晶体结构 / Crystal Be	FCC β ipele多晶，主要为（111)取向
密度 / iwuwo	3.21 g/cm³
硬度 / Lile	2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)
晶粒大小 / Ọkà SiZe	2 ~ 10μm
纯度 / Kemikali ti nw	99.99995%
热容 / Ooru Agbara	640 · kg^-1· K^-1
升华温度 / Sublimation otutu	2700 ℃
抗弯强度 / Agbara Flexural	415 MPa RT 4-ojuami
杨氏模量 / Young's Modul	430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃
导热系数 / ThermalIwa ihuwasi	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ gidi ti lẹẹdi ti adani ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni pẹlu awọn ibora oriṣiriṣi bii ibora SiC, ibora TaC, ideri erogba gilasi, ibora erogba pyrolytic, ati bẹbẹ lọ, le pese ọpọlọpọ awọn ẹya ti adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

A n ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, ati pe a ti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si itusilẹ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!