SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Ti a bo MOCVD Susceptor fun Idagba Epitaxial jẹ ọja ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

SiC ti a bo lẹẹdi MOCVD Wafer ẹjẹ / alailagbara

Gbogbo awọn oludaniloju wa jẹ ti graphite isostatic ti o ga julọ. Anfani lati awọn ga ti nw ti wa graphites – ni idagbasoke paapa fun nija lakọkọ bi epitaxy, gara dagba, ion gbin ati pilasima etching, bi daradara bi fun isejade ti LED eerun.

Awọn ẹya ara ẹrọ ti awọn ọja wa:

1. Agbara ifoyina iwọn otutu to gaju to 1700 ℃.
2. Ga ti nw ati ki o gbona uniformity
3. O tayọ ipata resistance: acid, alkali, iyo ati Organic reagents.
4. Lile giga, dada iwapọ, awọn patikulu ti o dara.
5. Gigun iṣẹ igbesi aye ati diẹ sii ti o tọ

CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo
性质 / Ohun ini	典型数值 / Aṣoju Iye
晶体结构 / Crystal Be	FCC β ipele多晶，主要为（111)取向
密度 / iwuwo	3.21 g/cm³
硬度 / Lile	2500 维氏硬度 (ẹrù 500g)
晶粒大小 / Ọkà SiZe	2 ~ 10μm
纯度 / Kemikali ti nw	99.99995%
热容 / Ooru Agbara	640 · kg^-1· K^-1
升华温度 / Sublimation otutu	2700 ℃
抗弯强度 / Agbara Flexural	415 MPa RT 4-ojuami
杨氏模量 / Young's Modul	430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃
导热系数 / ThermalIwa ihuwasi	300W·m^-1· K^-1
热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE)	4.5×10^-6K^-1

Agbara VET jẹ olupilẹṣẹ gidi ti lẹẹdi ti adani ati awọn ọja ohun alumọni ohun alumọni pẹlu awọn ibora oriṣiriṣi bii ibora SiC, ibora TaC, ideri erogba gilasi, ibora erogba pyrolytic, ati bẹbẹ lọ, le pese ọpọlọpọ awọn ẹya ti adani fun semikondokito ati ile-iṣẹ fọtovoltaic.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, le pese awọn solusan ohun elo alamọdaju diẹ sii fun ọ.

A n ṣe idagbasoke awọn ilana ilọsiwaju nigbagbogbo lati pese awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju diẹ sii, ati pe a ti ṣiṣẹ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ, eyiti o le jẹ ki isunmọ laarin ibora ati sobusitireti ṣinṣin ati ki o kere si itusilẹ.

Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!