Silicon Carbide Ti a bo Graphite Sobusitireti fun Semikondokito, MOCVD Susceptor

Sobusitireti ayaworan Silicon Carbide ti a bo fun Semikondokito, MOCVD Susceptor Aworan Ifihan

Apejuwe kukuru:

VET Energy SiC Coated Susceptor jẹ ọja ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ lati pese iṣẹ ṣiṣe deede ati igbẹkẹle lori akoko ti o gbooro sii. O ni o ni Super ti o dara ooru resistance ati ki o gbona uniformity, ga ti nw, ogbara resistance, ṣiṣe awọn ti o ni pipe ojutu fun wafer processing awọn ohun elo.

Ibi ti Oti:Zhejiang, Ṣáínà (Ilẹ̀ Gẹ̀ẹ́sì)

Nọmba awoṣe:Nọmba awoṣe:

Iṣọkan Kemikali:SiC ti a bo lẹẹdi

Agbara Flexor:470Mpa

Imudara igbona:300 W/mK

Didara:Pipe

Iṣẹ:CVD-SiC

Ohun elo:Semikondokito / Photovoltaic

Ìwúwo:3,21 g/cc

Imugboroosi igbona:4 10-6/K

Eeru: <5ppm

Apeere:O wa

Koodu HS:6903100000

Fi imeeli ranṣẹ si wa Ṣe igbasilẹ bi PDF

Alaye ọja

ọja Tags

VET Energy SiC Ti a bo Susceptorjẹ ojutu iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe daradara lati fi igbẹkẹle, iṣẹ ṣiṣe deede kọja igbesi aye gigun, pade awọn ibeere lile ti iṣelọpọ semikondokito. Ifihan resistance ooru ti o yatọ, isokan gbona ti o ga julọ, ati mimọ to gaju, ọja yii jẹ apẹrẹ fun awọn gbigbe wafer MOCVD ati awọn ohun elo iṣelọpọ wafer miiran ti o nilo iduroṣinṣin ati konge. Idaduro ogbara ti o lagbara rẹ jẹ ki o jẹ yiyan Ere fun awọn agbegbe nibiti agbara ati isọdọtun kemikali ṣe pataki.

TiwaSiC Ti a bo Graphite Susceptorduro bi paati to ṣe pataki ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, mimuuṣiṣẹpọ imọ-ẹrọ itọsi iyasọtọ ti VET Energy lati ṣaṣeyọri mimọ ti o ga pupọ, iṣọkan aṣọ ti o ga julọ, ati iduroṣinṣin igbona iyalẹnu. Awọn ti a bo iyi awọn lẹẹdi sobusitireti pẹlu ga kemikali resistance ati ki o kan significantly tesiwaju iṣẹ aye. Ìyàsímímọ́ VET Energy si didara ti yorisi ni ifura ti a bo SiC ti o pade awọn iwulo idagbasoke ti ọja ti ngbe graphite, ti n ṣeto idiwọn giga fun awọn ifura graphite ti a bo SiC ti a lo ninuMOCVD awọn ilana.

Awọn ẹya pataki ti Awọn Susceptors SiC Bo:

1. Resistance Oxidation Ooru-giga:Duro awọn iwọn otutu to 1700 ℃, ṣiṣe awọn ti o dara fun awọn iwọn processing ipo.

2. Iwa Mimo giga ati Isokan Gbona:Ṣe idaniloju awọn abajade deede, pataki funMOCVD alailagbaraati awọn miiran konge ohun elo.

3. Resistance Ibaje ti o dara julọ:Resilient si acid, alkali, iyọ, ati ọpọlọpọ awọn reagents Organic.

4. Imudara Dada Lile:Iwapọ dada pẹlu awọn patikulu itanran ti o pese agbara ti o ga julọ ati gigun.

5. Igbesi aye Iṣẹ ti o gbooro:Ti a ṣe ẹrọ fun iṣẹ ṣiṣe idaduro, ti o ṣejade awọn alamọja ohun alumọni-carbiide boṣewa ni awọn agbegbe sisẹ lile.

Bi awọn kan asiwaju olupese, VET Energy amọja ni adani lẹẹdi atiohun alumọni carbide awọn ọjapẹlu orisirisi ti a bo awọn aṣayan, pẹluSiC ti a bo, TaC ti a bo, gilasi erogba ti a bo, ati pyrolytic erogba ti a bo. A fi inu didun sin semikondokito ati awọn ile-iṣẹ fọtovoltaic, jiṣẹ awọn ifura graphite ti a bo silikoni carbide ti o pade awọn ibeere iṣẹ ṣiṣe kan pato.

Ẹgbẹ imọ-ẹrọ wa, pẹlu iriri lati awọn ile-iṣẹ iwadii ile ti o ga julọ, jẹ igbẹhin si ilọsiwaju awọn solusan ohun elo fun awọn iwulo idagbasoke tiSiC-ti a bo lẹẹdi susceptoroja. Nipasẹ ilana itọsi wa, VET Energy ti ni idagbasoke imọ-ẹrọ alailẹgbẹ ti o ni ilọsiwaju agbara mnu laarin ibora ohun alumọni ohun alumọni ati sobusitireti, idinku eewu iyọkuro ati imudara igbẹkẹle igba pipẹ.

Awọn ohun elo ati Awọn anfani ni Ṣiṣẹda Semikondokito

AwọnSiC ti a bo fun MOCVDmu ṣiṣẹlẹẹdi susceptorawọn paati lati ṣetọju iduroṣinṣin labẹ iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ibajẹ, eyiti o ṣe pataki fun iṣelọpọ semikondokito deede. Awọn paati graphite ti a bo SiC wọnyi jẹ iwulo pataki ni awọn ilana ti o nilo awọn ifura ti a bo ohun alumọni carbide funlẹẹdi wafer ẹjẹ, eyiti o beere iduroṣinṣin igbona giga, mimọ, ati resistance si ogbara kemikali.

Pẹlu awọn imuposi ibora ohun alumọni ohun alumọni ti ilọsiwaju, VET Energy tẹsiwaju lati ṣe atilẹyin ọja ti ngbe wafer graphite nipa jiṣẹ adani, iṣẹ ṣiṣe gigaSiC-ti a bo lẹẹdi susceptorsti o koju awọn italaya ile-iṣẹ kan pato, lati awọn ilana MOCVD si awọn ohun elo mimọ-giga ni aaye semikondokito.