Ni akọkọ, a nilo lati mọPECVD(Imudara pilasima Omi Omi Omi). Plasma jẹ gbigbona ti išipopada igbona ti awọn ohun elo ohun elo. Ikọlura laarin wọn yoo fa ki awọn ohun elo gaasi jẹ ionized, ati pe ohun elo naa yoo di idapọ ti awọn ions rere gbigbe larọwọto, awọn elekitironi ati awọn patikulu didoju ti o ṣe ajọṣepọ pẹlu ara wọn.
O ti ṣe iṣiro pe oṣuwọn isonu iṣaro ti ina lori dada ohun alumọni jẹ giga bi 35%. Fiimu ti o lodi si ifasilẹ le mu iwọn lilo ti ina oorun pọ si nipasẹ sẹẹli batiri, eyiti o ṣe iranlọwọ lati mu iwuwo lọwọlọwọ ti fọtogenerated ati nitorinaa mu ilọsiwaju iyipada ṣiṣẹ. Ni akoko kanna, hydrogen ti o wa ninu fiimu naa kọja oju ti sẹẹli batiri naa, dinku oṣuwọn isọdọtun dada ti isunmọ emitter, dinku lọwọlọwọ okunkun, mu foliteji Circuit ṣiṣi, ati ilọsiwaju ṣiṣe iyipada fọtoelectric. Annealing ti iwọn otutu ti o ga ni kiakia ninu ilana sisun-nipasẹ ilana fi opin si diẹ ninu awọn iwe ifowopamosi Si-H ati NH, ati pe H ti o ni ominira tun mu agbara agbara batiri naa lagbara.
Niwọn igba ti awọn ohun elo ohun alumọni ti o ni iwọn fọtovoltaic laiseaniani ni iye nla ti awọn aimọ ati awọn abawọn, igbesi aye ti ngbe kekere ati gigun kaakiri ni ohun alumọni dinku, ti o fa idinku ninu ṣiṣe iyipada batiri naa. H le fesi pẹlu awọn abawọn tabi awọn aimọ ni ohun alumọni, nitorinaa gbigbe okun agbara ni bandgap sinu valence band tabi conduction band.
1. Ilana PECVD
Eto PECVD jẹ lẹsẹsẹ awọn olupilẹṣẹ liloPECVD lẹẹdi ọkọ ati ki o ga-igbohunsafẹfẹ pilasima exciters. Olupilẹṣẹ pilasima ti fi sori ẹrọ taara ni aarin awo ti a bo lati fesi labẹ titẹ kekere ati iwọn otutu ti o ga. Awọn gaasi ti nṣiṣe lọwọ ti a lo jẹ silane SiH4 ati amonia NH3. Awọn gaasi wọnyi ṣiṣẹ lori nitride silikoni ti o fipamọ sori wafer silikoni. Awọn atọka itọsi oriṣiriṣi le ṣee gba nipa yiyipada ipin ti silane si amonia. Lakoko ilana fifisilẹ, iye nla ti awọn ọta hydrogen ati awọn ions hydrogen ti wa ni ipilẹṣẹ, ṣiṣe passivation hydrogen ti wafer dara julọ. Ninu igbale ati iwọn otutu ibaramu ti 480 iwọn Celsius, Layer ti SixNy ti wa ni ti a bo lori oke ti wafer silikoni nipa ṣiṣe adaṣePECVD lẹẹdi ọkọ.
3SiH4 + 4NH3 → Si3N4 + 12H2
2. Si3N4
Awọ ti fiimu Si3N4 yipada pẹlu sisanra rẹ. Ni gbogbogbo, sisanra ti o dara julọ wa laarin 75 ati 80 nm, eyiti o han buluu dudu. Atọka ifasilẹ ti fiimu Si3N4 dara julọ laarin 2.0 ati 2.5. Oti ni a maa n lo lati wiwọn atọka itọka rẹ.
O tayọ dada passivation ipa, daradara opitika egboogi-iroyin išẹ (sisanra refractive atọka ibaamu), kekere otutu ilana (fena ni atehinwa owo), ati awọn ti ipilẹṣẹ H ions passivate awọn ohun alumọni wafer dada.
3. Wọpọ ọrọ ni a bo onifioroweoro
Fiimu sisanra:
Akoko ifisilẹ yatọ fun awọn sisanra fiimu oriṣiriṣi. Akoko ifisilẹ yẹ ki o pọ sii tabi dinku ni ibamu si awọ ti a bo. Ti fiimu naa ba jẹ funfun, akoko ifisilẹ yẹ ki o dinku. Ti o ba jẹ pupa, o yẹ ki o pọ sii daradara. Ọkọ oju omi kọọkan ti awọn fiimu yẹ ki o jẹrisi ni kikun, ati pe awọn ọja ti ko ni abawọn ko gba laaye lati ṣan sinu ilana atẹle. Fun apẹẹrẹ, ti ibora ko ba dara, gẹgẹbi awọn aaye awọ ati awọn ami omi, funfun funfun ti o wọpọ julọ, iyatọ awọ, ati awọn aaye funfun lori laini iṣelọpọ yẹ ki o mu jade ni akoko. Ifunfun dada jẹ eyiti o fa nipasẹ fiimu nitride silikoni ti o nipọn, eyiti o le tunṣe nipasẹ ṣatunṣe akoko fifisilẹ fiimu; fiimu iyatọ awọ jẹ nipataki nipasẹ idena ọna gaasi, jijo tube quartz, ikuna makirowefu, ati bẹbẹ lọ; awọn aaye funfun jẹ eyiti o fa nipasẹ awọn aaye dudu kekere ni ilana iṣaaju. Abojuto ti reflectivity, refractive atọka, ati be be lo, ailewu ti pataki gaasi, ati be be lo.
Awọn aaye funfun lori dada:
PECVD jẹ ilana ti o ṣe pataki diẹ ninu awọn sẹẹli oorun ati itọkasi pataki ti ṣiṣe ti awọn sẹẹli oorun ti ile-iṣẹ kan. Ilana PECVD n ṣiṣẹ lọwọ ni gbogbogbo, ati pe ipele kọọkan ti awọn sẹẹli nilo lati ṣe abojuto. Ọpọlọpọ awọn tubes ileru ti a bo, ati tube kọọkan ni gbogbo awọn ọgọọgọrun awọn sẹẹli (da lori ohun elo). Lẹhin iyipada awọn ilana ilana, ọmọ ijerisi jẹ pipẹ. Imọ-ẹrọ ibora jẹ imọ-ẹrọ ti gbogbo ile-iṣẹ fọtovoltaic ṣe pataki pataki si. Iṣiṣẹ ti awọn sẹẹli oorun le ni ilọsiwaju nipasẹ imudara imọ-ẹrọ ti a bo. Ni ọjọ iwaju, imọ-ẹrọ dada sẹẹli oorun le di aṣeyọri ninu ṣiṣe imọ-jinlẹ ti awọn sẹẹli oorun.
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu kejila-23-2024