vet-china ṣe idaniloju pe gbogbo DurableOhun alumọni Carbide Wafer Mimu Paddleni o tayọ iṣẹ ati agbara. Paddle ohun alumọni wafer mimu ohun alumọni nlo awọn ilana iṣelọpọ ilọsiwaju lati rii daju pe iduroṣinṣin igbekalẹ ati iṣẹ ṣiṣe wa ni iwọn otutu giga ati awọn agbegbe ipata kemikali. Apẹrẹ tuntun yii n pese atilẹyin ti o dara julọ fun mimu wafer semikondokito, pataki fun awọn iṣẹ adaṣe adaṣe to gaju.
SiC Cantilever Paddlejẹ paati amọja ti a lo ninu awọn ohun elo iṣelọpọ semikondokito bii ileru ifoyina, ileru kaakiri, ati ileru annealing, lilo akọkọ jẹ fun ikojọpọ wafer ati ṣiṣi silẹ, ṣe atilẹyin ati gbigbe awọn wafers lakoko awọn ilana iwọn otutu.
Awọn ẹya ti o wọpọtiSiCcantileverpadie: a cantilever be, ti o wa titi ni ọkan opin ati ki o free ni awọn miiran, ojo melo ni alapin ati paddle-bi oniru.
ṢiṣẹpopolotiSiCcantileverpadie:
Paddle cantilever le gbe si oke ati isalẹ tabi sẹhin ati siwaju laarin iyẹwu ileru, o le ṣee lo lati gbe awọn wafers lati awọn agbegbe ikojọpọ si awọn agbegbe iṣelọpọ, tabi kuro ni awọn agbegbe iṣelọpọ, atilẹyin ati imuduro wafers lakoko iṣelọpọ iwọn otutu.
| Awọn ohun-ini ti ara ti Silicon Carbide Recrystallized | |
| Ohun ini | Iye Aṣoju |
| Iwọn otutu iṣẹ (°C) | 1600°C (pẹlu atẹgun), 1700°C (idinku ayika) |
| SiC akoonu | > 99.96% |
| Si akoonu ọfẹ | <0.1% |
| Olopobobo iwuwo | 2,60-2,70 g / cm3 |
| Porosity ti o han gbangba | <16% |
| Agbara funmorawon | > 600 MPa |
| Agbara atunse tutu | 80-90 MPa (20°C) |
| Gbona atunse agbara | 90-100 MPa (1400°C) |
| Gbona imugboroosi @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Gbona elekitiriki @1200°C | 23 W/m•K |
| Iwọn rirọ | 240 GPA |
| Gbona mọnamọna resistance | O dara pupọ |
