Vet-ChinaSeramiki Silikoni CarbideIbora jẹ ibora aabo iṣẹ ṣiṣe giga ti a ṣe ti lile pupọ ati sooro wọohun alumọni carbide (SiC)ohun elo, eyiti o pese idena ipata kemikali ti o dara julọ ati iduroṣinṣin iwọn otutu. Awọn abuda wọnyi jẹ pataki ni iṣelọpọ semikondokito, nitorinaaOhun alumọni Carbide seramiki asoni lilo pupọ ni awọn paati bọtini ti ohun elo iṣelọpọ semikondokito.
Awọn pato ipa ti Vet-ChinaSeramiki Silikoni CarbideIbora ni iṣelọpọ semikondokito jẹ bi atẹle:
Ṣe ilọsiwaju agbara ohun elo:Ohun alumọni Carbide seramiki Coating Silicon Carbide Seramiki Coating pese aabo dada ti o dara julọ fun ohun elo iṣelọpọ semikondokito pẹlu lile giga giga rẹ ati resistance resistance. Paapa ni iwọn otutu ti o ga ati awọn agbegbe ilana ipata pupọ, gẹgẹ bi ifisilẹ eefin ti kemikali (CVD) ati etching pilasima, ibora le ṣe idiwọ dada ohun elo naa ni imunadoko lati bajẹ nipasẹ ogbara kemikali tabi yiya ti ara, nitorinaa ni pataki faagun igbesi aye iṣẹ ti awọn ẹrọ ati idinku downtime ṣẹlẹ nipasẹ loorekoore rirọpo ati titunṣe.
Ṣe ilọsiwaju ilana mimọ:Ninu ilana iṣelọpọ semikondokito, idoti kekere le fa awọn abawọn ọja. Inertness kemikali ti Silicon Carbide Ceramic Coating gba laaye lati wa ni iduroṣinṣin labẹ awọn ipo to gaju, idilọwọ ohun elo lati dasile awọn patikulu tabi awọn aimọ, nitorinaa aridaju mimọ ayika ti ilana naa. Eyi ṣe pataki ni pataki fun awọn igbesẹ iṣelọpọ ti o nilo iṣedede giga ati mimọ giga, gẹgẹbi PECVD ati gbin ion.
Mu iṣakoso igbona pọ si:Ni iwọn otutu iwọn otutu sisẹ semikondokito, gẹgẹbi sisẹ igbona iyara (RTP) ati awọn ilana ifoyina, iṣiṣẹ igbona giga ti Silicon Carbide Ceramic Coating jẹ ki pinpin iwọn otutu aṣọ ile inu ẹrọ naa. Eyi ṣe iranlọwọ lati dinku aapọn igbona ati abuku ohun elo ti o fa nipasẹ awọn iwọn otutu, nitorinaa imudarasi iṣedede iṣelọpọ ọja ati aitasera.
Ṣe atilẹyin awọn agbegbe ilana eka:Ninu awọn ilana ti o nilo iṣakoso oju-aye eka, gẹgẹbi ICP etching ati awọn ilana etching PSS, iduroṣinṣin ati resistance oxidation ti Silicon Carbide Ceramic Coating rii daju pe ohun elo n ṣetọju iṣẹ iduroṣinṣin ni iṣẹ igba pipẹ, idinku eewu ti ibajẹ ohun elo tabi ibajẹ ohun elo nitori si awọn iyipada ayika.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Awọn ohun-ini ti ara ipilẹ ti CVD SiCti a bo | |
| 性质 / Ohun ini | 典型数值 / Aṣoju Iye |
| 晶体结构 / Crystal Be | FCC β ipele多晶，主要为（111)取向 |
| 密度 / iwuwo | 3.21 g/cm³ |
| 硬度 / Lile | 2500 维氏硬度 (ẹrù 500g) |
| 晶粒大小 / Ọkà SiZe | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Kemikali ti nw | 99.99995% |
| 热容 / Ooru Agbara | 640 · kg-1· K-1 |
| 升华温度 / Sublimation otutu | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Agbara Flexural | 415 MPa RT 4-ojuami |
| 杨氏模量 / Young's Modul | 430 Gpa 4pt tẹ, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalIwa ihuwasi | 300W·m-1· K-1 |
| 热膨胀系数 / Imugboroosi Gbona (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Fifẹ gba ọ lati ṣabẹwo si ile-iṣẹ wa, jẹ ki a ni ijiroro siwaju!
