vet-china гарантує, що кожен DurableЛопатка для обробки пластин з карбіду кремніюмає відмінні характеристики і довговічність. У цьому лопаті з карбіду кремнію для обробки пластин використовуються передові виробничі процеси, які гарантують, що його структурна стабільність і функціональність залишаються в умовах високої температури та хімічної корозії. Цей інноваційний дизайн забезпечує чудову підтримку роботи з напівпровідниковими пластинами, особливо для високоточних автоматизованих операцій.
Консольне весло SiCце спеціалізований компонент, який використовується в устаткуванні для виробництва напівпровідників, такому як окислювальна піч, дифузійна піч і піч для відпалу, головним чином використовується для завантаження та вивантаження пластин, підтримки та транспортування пластин під час високотемпературних процесів.
Загальні конструкціїзSiCcантиважільpдодавати: консольна конструкція, закріплена на одному кінці та вільна на іншому, зазвичай має плоску та лопатеву конструкцію.
ПрацюєpпринципзSiCcантиважільpдодавати:
Консольна лопатка може рухатися вгору-вниз або вперед-назад у камері печі, її можна використовувати для переміщення пластин із зон завантаження до зон обробки або з зон обробки, підтримуючи та стабілізуючи пластини під час високотемпературної обробки.
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC | > 99,96% |
Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
Насипна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600 МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23 Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |