Графітова підкладка з покриттям з карбіду кремнію для напівпровідників, MOCVD-суцептор

Короткий опис:

VET Energy SiC Coated Susceptor — це високоефективний продукт, розроблений для стабільної та надійної роботи протягом тривалого періоду часу. Він має надвисоку термостійкість і термічну однорідність, високу чистоту, стійкість до ерозії, що робить його ідеальним рішенням для обробки пластин.

Місце походження:Чжецзян, Китай (материк)

Номер моделі:Номер моделі:

Хімічний склад:Графіт з покриттям SiC

Міцність на вигин:470 МПа

Теплопровідність:300 Вт/мК

якість:ідеально

функція:CVD-SiC

застосування:Напівпровідник/фотоелектричний

Щільність:3,21 г/куб.куб

Теплове розширення:4 10-6/К

попіл: <5 ppm

Зразок:Доступний

Код HS:6903100000

Надішліть нам електронний лист Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги товарів

VET Energy SiC-покриттяце високопродуктивне рішення, ретельно розроблене для забезпечення надійної стабільної роботи протягом тривалого терміну служби, що відповідає суворим вимогам виробництва напівпровідників. Завдяки винятковій термостійкості, чудовій тепловій однорідності та високій чистоті, цей продукт ідеально підходить для носіїв пластин MOCVD та інших застосувань для обробки пластин, які потребують стабільності та точності. Його міцна стійкість до ерозії робить його першокласним вибором для середовищ, де довговічність і хімічна стійкість є важливими.

нашГрафітовий токоприймач із покриттям SiCє критично важливим компонентом у процесі виробництва напівпровідників, використовуючи ексклюзивну запатентовану технологію VET Energy для досягнення надзвичайно високої чистоти, чудової однорідності покриття та надзвичайної термічної стабільності. Покриття підвищує хімічну стійкість графітової підкладки та значно подовжує термін служби. Прагнення VET Energy до якості призвело до створення електроприймача з SiC-покриттям, який відповідає зростаючим потребам ринку носіїв для графітових пластин, встановлюючи високий стандарт для графітових контактів із покриттям SiC, які використовуються впроцеси MOCVD.

Основні характеристики чутливих елементів із покриттям SiC:

1. Стійкість до високотемпературного окислення:Витримує температуру до 1700 ℃, що робить його придатним для екстремальних умов обробки.

2. Висока чистота та термічна однорідність:Забезпечує стійкі результати, життєво важливі дляСприємці MOCVDта інші прецизійні програми.

3. Чудова стійкість до корозії:Стійкий до дії кислот, лугів, солей і різних органічних реагентів.

4. Підвищена твердість поверхні:Компактна поверхня з дрібними частинками забезпечує більшу міцність і довговічність.

5. Подовжений термін служби:Розроблено для тривалої продуктивності, перевершуючи стандартні електроприймачі з покриттям з карбіду кремнію в жорстких умовах обробки.

Як провідний виробник, VET Energy спеціалізується на індивідуальному графіті тавироби з карбіду кремніюз різними варіантами покриття, в т.чSiC покриття, Покриття TaC, склокарбонове покриття, і піролітичне карбонове покриття. Ми з гордістю обслуговуємо напівпровідникову та фотоелектричну промисловість, доставляючи графітові електроприймачі з покриттям з карбіду кремнію, які відповідають спеціальним експлуатаційним вимогам.

Наша технічна команда, яка має досвід провідних вітчизняних науково-дослідних установ, присвячена просуванню матеріальних рішень для потреб, що постійно розвиваються.Графітовий токоприймач із покриттям SiCринку. Завдяки нашому запатентованому процесу компанія VET Energy розробила унікальну технологію, яка значно покращує міцність зв’язку між покриттям з карбіду кремнію та підкладкою, зменшуючи ризик від’єднання та підвищуючи довгострокову надійність.

Застосування та переваги в обробці напівпровідників

TheSiC покриття для MOCVDдозволяєграфітовий сусцепторкомпоненти для підтримки цілісності в умовах високої температури та корозійного середовища, що є життєво важливим для виробництва точних напівпровідників. Ці графітові компоненти з покриттям із карбіду кремнію особливо цінуються в процесах, для яких потрібніграфітові носії для пластин, які вимагають високої термічної стабільності, чистоти та стійкості до хімічної ерозії.

Завдяки передовим технологіям покриття з карбіду кремнію VET Energy продовжує підтримувати ринок носіїв для графітових пластин, надаючи індивідуальні високопродуктивніГрафітові токоприймачі з покриттям SiCякі вирішують галузеві виклики, від процесів MOCVD до застосувань високої чистоти в області напівпровідників.