Як очистити графітовий човен PECVD？| ПТО Енергія

1. Підтвердження перед чищенням

1) КолиГрафітовий човен PECVD/носій використовується більше 100-150 разів, оператор повинен вчасно перевірити стан покриття. Якщо є ненормальне покриття, його потрібно очистити та підтвердити. Звичайний колір покриття кремнієвої пластини в графітовому човні/носії — синій. Якщо пластина має не синій колір, кілька кольорів або різниця кольорів між пластинами є великою, це ненормальне покриття, і причину аномалії потрібно підтвердити вчасно.
2) Після процесу персонал аналізує стан покриттяГрафітовий човен PECVD/носій, вони визначатимуть, чи потрібно чистити графітовий човен і чи потрібно замінити точку картки, а графітовий човен/носій, який потрібно очистити, буде переданий персоналу обладнання для очищення.

 

3) Післяграфітовий човен/носій пошкоджено, виробничий персонал вийме всі кремнієві пластини з графітового човна та за допомогою CDA (стисненого повітря) відсортує фрагменти вграфітовий човен. Після завершення персонал обладнання підніме його в резервуар для кислоти, який був підготовлений з певною пропорцією розчину HF для очищення.

 

2. Чистка графітового човна

Рекомендується використовувати 15-25% розчин фтористоводневої кислоти для трьох циклів очищення, кожен протягом 4-5 годин, і періодично барботувати азот під час процесу замочування та очищення, додаючи приблизно півгодини очищення; Примітка: не рекомендується використовувати повітря безпосередньо як джерело газу для барботування. Після маринування промийте чистою водою протягом приблизно 10 годин і переконайтеся, що човен було ретельно очищено. Після очищення перевірте поверхню човна, вістря графітової картки та з’єднання щита човна та інші частини, щоб побачити, чи є залишки нітриду кремнію. Потім висушіть відповідно до вимог.

3. Запобіжні заходи при чищенні

A) Оскільки кислота HF є сильно корозійною речовиною та має певну летючість, вона небезпечна для операторів. Тому оператори на посту прибирання повинні вживати заходів безпеки та керуватися спеціальною особою.

B) Рекомендується розібрати човен і під час чищення очищати лише графітову частину, щоб кожна контактна частина могла бути очищена більш ретельно. Наразі багато вітчизняних виробників використовують загальне очищення, що зручно, але оскільки кислота HF є корозійною для керамічних деталей, загальне очищення скоротить термін служби відповідних деталей.