нагрівач з керамічним покриттям з карбіду кремнію

Вет-КитайКераміка з карбіду кремніюПокриття - це високоефективне захисне покриття, виготовлене з надзвичайно міцного та зносостійкогокарбід кремнію (SiC)матеріал, який забезпечує чудову стійкість до хімічної корозії та стійкість до високих температур. Ці характеристики є вирішальними у виробництві напівпровідників, томуКерамічне покриття з карбіду кремніюшироко використовується в ключових компонентах обладнання для виробництва напівпровідників.

Особлива роль вет-КитаюКераміка з карбіду кремніюПокриття у виробництві напівпровідників буває наступним чином:

Підвищення довговічності обладнання:Керамічне покриття з карбіду кремнію Керамічне покриття з карбіду кремнію забезпечує чудовий захист поверхні обладнання для виробництва напівпровідників завдяки надзвичайно високій твердості та зносостійкості. Особливо у високотемпературних і висококорозійних технологічних середовищах, таких як хімічне осадження з парової фази (CVD) і плазмове травлення, покриття може ефективно запобігти пошкодженню поверхні обладнання внаслідок хімічної ерозії або фізичного зносу, тим самим значно подовжуючи термін служби обладнання. обладнання та скорочення часу простою, викликаного частою заміною та ремонтом.

Підвищення чистоти процесу:У процесі виробництва напівпровідників дрібні забруднення можуть спричинити дефекти продукту. Хімічна інертність керамічного покриття з карбіду кремнію дозволяє йому залишатися стабільним в екстремальних умовах, запобігаючи вивільненню частинок або домішок з матеріалу, тим самим забезпечуючи екологічну чистоту процесу. Це особливо важливо для етапів виробництва, які вимагають високої точності та високої чистоти, таких як PECVD та іонна імплантація.

Оптимізуйте керування температурою:У високотемпературній обробці напівпровідників, такій як швидка термічна обробка (RTP) і процеси окислення, висока теплопровідність керамічного покриття з карбіду кремнію забезпечує рівномірний розподіл температури всередині обладнання. Це допомагає зменшити термічну напругу та деформацію матеріалу, спричинену коливаннями температури, тим самим підвищуючи точність і послідовність виготовлення продукції.

Підтримка складних процесів:У процесах, які вимагають складного контролю атмосфери, таких як травлення ICP і травлення PSS, стабільність і стійкість до окислення керамічного покриття з карбіду кремнію гарантують, що обладнання підтримує стабільну роботу під час тривалої роботи, знижуючи ризик погіршення якості матеріалу або пошкодження обладнання через до змін навколишнього середовища.