ПросунутийКонсольне весло SiCfor Wafer Processing, створений vet-china, є чудовим рішенням для виробництва напівпровідників. Це консольне весло виготовлено з матеріалу SiC (карбіду кремнію), а його висока твердість і термостійкість дозволяють йому підтримувати чудову продуктивність у високій температурі та корозійному середовищі. Конструкція Cantilever Paddle дозволяє надійно підтримувати пластину під час обробки, зменшуючи ризик фрагментації та пошкодження.
Консольне весло SiCце спеціалізований компонент, який використовується в устаткуванні для виробництва напівпровідників, такому як окислювальна піч, дифузійна піч і піч для відпалу, головним чином використовується для завантаження та вивантаження пластин, підтримки та транспортування пластин під час високотемпературних процесів.
Загальні конструкціїзSiCcантиважільpдодавати: консольна конструкція, закріплена на одному кінці та вільна на іншому, зазвичай має плоску та лопатеву конструкцію.
VET Energy використовує рекристалізований карбід кремнію високої чистоти, щоб гарантувати якість.
Фізичні властивості перекристалізованого карбіду кремнію | |
Власність | Типове значення |
Робоча температура (°C) | 1600°C (з киснем), 1700°C (відновне середовище) |
Вміст SiC | > 99,96% |
Безкоштовний вміст Si | < 0,1% |
Насипна щільність | 2,60-2,70 г/см3 |
Видима пористість | < 16% |
Міцність на стиск | > 600МПа |
Міцність на холодний вигин | 80-90 МПа (20°C) |
Міцність на гарячий вигин | 90-100 МПа (1400°C) |
Теплове розширення @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Теплопровідність @1200°C | 23Вт/м•К |
Модуль пружності | 240 ГПа |
Стійкість до термічного удару | Надзвичайно добре |
Переваги Advanced SiC Console Padle для обробки пластин від VET Energy:
-Висока температурна стабільність: можна використовувати в середовищах вище 1600°C;
- Низький коефіцієнт теплового розширення: зберігає стабільність розмірів, зменшуючи ризик деформації пластини;
-Висока чистота: менший ризик забруднення металом;
-Хімічна інертність: стійкий до корозії, підходить для різних газових середовищ;
-Висока міцність і твердість: Зносостійкість, тривалий термін служби;
- Хороша теплопровідність: сприяє рівномірному нагріванню пластин.