Ця 6-дюймова пластина SiC типу N розроблена для покращеної продуктивності в екстремальних умовах, що робить її ідеальним вибором для додатків, які потребують високої потужності та стійкості до температури. Основні продукти, пов’язані з цією пластиною, включають пластину Si, підкладку SiC, пластину SOI та підкладку SiN. Ці матеріали забезпечують оптимальну продуктивність у різноманітних процесах виробництва напівпровідників, створюючи пристрої, які є енергоефективними та довговічними.
Для компаній, які працюють з пластинами Epi, оксиду галію Ga2O3, касетами або пластинами AlN, 6-дюймові пластини SiC N типу VET Energy забезпечують необхідну основу для розробки інноваційних продуктів. Незалежно від того, чи йдеться про потужну електроніку чи новітню радіочастотну технологію, ці пластини забезпечують чудову провідність і мінімальний термічний опір, розсуваючи межі ефективності та продуктивності.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАФЕЛЬ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук (GF3YFCD) - абсолютне значення | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформація (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Вафельний край | Скошування |
ОБРОБКА ПОВЕРХНІ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Оздоблення поверхні | Двостороння оптична полірування, Si-Face CMP | ||||
Шорсткість поверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Крайові чіпи | Не допускається (довжина та ширина≥0,5 мм) | ||||
Відступи | Не дозволено | ||||
Подряпини (Si-Face) | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | ||
Тріщини | Не дозволено | ||||
Виключення краю | 3 мм |