8-дюймові кремнієві пластини VET Energy широко використовуються в силовій електроніці, датчиках, інтегральних схемах та інших сферах. Як лідер у галузі напівпровідників, ми прагнемо надавати високоякісні продукти Si Wafer для задоволення зростаючих потреб наших клієнтів.
На додаток до Si Wafer, VET Energy також пропонує широкий спектр напівпровідникових матеріалів для підкладки, включаючи SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer тощо. Наша лінійка продуктів також охоплює нові широкозонні напівпровідникові матеріали, такі як оксид галію Ga2O3 та AlN Wafer, що забезпечує потужну підтримку для розробки силових електронних пристроїв нового покоління.
VET Energy має сучасне виробниче обладнання та повну систему управління якістю, щоб кожна пластина відповідала суворим галузевим стандартам. Наша продукція має не тільки відмінні електричні властивості, але й хорошу механічну міцність і термічну стабільність.
VET Energy надає клієнтам індивідуальні рішення для пластин, включаючи пластини різних розмірів, типів і концентрацій допінгу. Крім того, ми також надаємо професійну технічну підтримку та післяпродажне обслуговування, щоб допомогти клієнтам вирішити різні проблеми, що виникають під час виробничого процесу.
ТЕХНІЧНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАФЕЛЬ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6 мкм | ≤6 мкм | |||
Лук (GF3YFCD) - абсолютне значення | ≤15 мкм | ≤15 мкм | ≤25 мкм | ≤15 мкм | |
Деформація (GF3YFER) | ≤25 мкм | ≤25 мкм | ≤40 мкм | ≤25 мкм | |
LTV(SBIR)-10ммх10мм | <2 мкм | ||||
Вафельний край | Скошування |
ОБРОБКА ПОВЕРХНІ
*n-Pm=n-тип Pm-клас, n-Ps=n-тип Ps-клас, Sl=напівізоляційний
Пункт | 8-дюймовий | 6-дюймовий | 4-дюймовий | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Оздоблення поверхні | Двостороння оптична полірування, Si-Face CMP | ||||
Шорсткість поверхні | (10 мкм x 10 мкм) Si-FaceRa≤0,2 нм | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Крайові чіпи | Не допускається (довжина та ширина≥0,5 мм) | ||||
Відступи | Не дозволено | ||||
Подряпини (Si-Face) | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | К-сть ≤5, Сукупний | ||
Тріщини | Не дозволено | ||||
Виключення краю | 3 мм |