Фотолитография машиналарының төгәл өлешләре өчен өстенлекле материал Ярымүткәргеч кырында кремний карбид керамик материаллары, нигездә, кремний карбид эш урыны, юл күрсәткечләре, рефлекторлар, керамик сорау чәк, куллар, г ... кебек интеграль схема җитештерү өчен төп җиһазларда кулланыла.
Күбрәк укыгыз