Бер кристалл мич - а куллана торган җайланмаграфит җылыткычполикристалл кремний материалларын инерт газында (аргон) эретергә һәм Чохральски ысулын кулланып, бер кристаллны үстерергә. Ул, нигездә, түбәндәге системалардан тора:
Механик тапшыру системасы
Механик тапшыру системасы - бер кристалл мичнең төп эш системасы, ул кристаллларның хәрәкәтен контрольдә тоту өчен җаваплы һәмхачорлык кристалларын күтәрү һәм әйләндерү, күтәрү һәм әйләнүне кертепхач. Ул кристалл һәм кристаллларның позициясе, тизлеге һәм әйләнү почмагы кебек параметрларны төгәл көйли ала, кристалл үсеш процессының шома алгарышын тәэмин итү өчен. Мисал өчен, орлык, муен, җилкә, диаметрның тигез үсүе һәм койрыгы кебек төрле кристалл үсеш этапларында, кристалл үсеш процесс таләпләрен канәгатьләндерү өчен, орлык кристаллары һәм крестиклар хәрәкәте бу система белән төгәл контрольдә тотылырга тиеш.
Heatingылылык температурасы белән идарә итү системасы
Бу бер кристалл мичнең төп системаларының берсе, ул җылылык тудыру һәм мичтәге температураны төгәл контрольдә тоту өчен кулланыла. Ул, нигездә, җылыткычлар, температура сенсорлары, температура контроллерлары кебек компонентлардан тора. Aterылыткыч гадәттә югары чисталыклы графит кебек материаллардан ясала. Токны үзгәртү өчен алмаш ток үзгәртелгәннән һәм кыскартылганнан соң, җылыткыч кристаллдагы полисиликон кебек поликристалл материалларны эретү өчен җылылык чыгара. Температура сенсоры мичтәге температураның үзгәрүен реаль вакытта күзәтә һәм температура сигналын температура контроллерына җибәрә. Температура контроллеры җылылык көчен билгеләнгән температура параметрлары һәм кире температура сигналы буенча төгәл контрольдә тота, шуның белән мичтәге температураның тотрыклылыгын саклый һәм кристалл үсеше өчен тиешле температура мохитен тәэмин итә.
Вакуум системасы
Вакуум системасының төп функциясе - кристалл үсеш процессында мичтә вакуум мохитен булдыру һәм саклау. Мичтәге һава һәм пычрак газлар вакуум насослар һәм башка җиһазлар аша чыгарыла, мичтәге газ басымы бик түбән дәрәҗәгә җитә, гадәттә 5TOR (торр). Бу кремний материалының югары температурада оксидлашуына комачаулый һәм кристалл үсешенең чисталыгын һәм сыйфатын тәэмин итә ала. Шул ук вакытта вакуум мохите кристаллның үсеш процессында барлыкка килгән үзгәрүчән пычракларны бетерүгә һәм кристаллның сыйфатын күтәрүгә ярдәм итә.
Аргон системасы
Аргон системасы бер кристалл мичтәге мичтәге басымны саклау һәм көйләүдә роль уйный. Вакуумнан соң, югары чисталыклы аргон газы (чисталык 6 9 дан югары булырга тиеш) мичкә тутырыла. Бер яктан, ул тышкы һаваның мичкә керүен һәм кремний материалларының оксидлашуыннан саклый ала; икенче яктан, аргон газын тутыру мичтәге басымны тотрыклы итә ала һәм кристалл үсеше өчен тиешле басым мохитен тәэмин итә ала. Моннан тыш, аргон газы агымы шулай ук кристалл үсеш процессында барлыкка килгән җылылыкны алып, билгеле бер суыту ролен уйный ала.
Су суыту системасы
Су суыту системасының функциясе - җиһазның нормаль эшләвен һәм хезмәт итү вакытын тәэмин итү өчен, бер кристалл мичнең төрле югары температуралы компонентларын суыту. Бер кристалл мич эшләгәндә, җылыткыч,хач, электрод һәм башка компонентлар күп җылылык китерәчәк. Әгәр дә алар вакытында суытылмасалар, җиһазлар кызып китәр, деформацияләнер, хәтта бозылыр. Су суыту системасы җиһазларның температурасын куркынычсыз диапазонда тоту өчен суыткыч су әйләндереп бу компонентларның җылылыгын алып китә. Шул ук вакытта су суыту системасы температура белән идарә итү төгәллеген яхшырту өчен мичтәге температураны көйләргә булыша ала.
Электр белән идарә итү системасы
Электр белән идарә итү системасы - бер кристалл мичнең "мие", бөтен җиһазның эшләвен контрольдә тоту өчен җаваплы. Ул төрле сенсорлардан сигналлар ала ала, мәсәлән, температура сенсорлары, басым сенсорлары, позиция сенсорлары, һәм бу сигналлар нигезендә механик тапшыру системасын, җылыту температурасын контрольдә тоту системасын, вакуум системасын, аргон системасын һәм су суыту системасын координацияли һәм контрольдә тота ала. Мәсәлән, кристалл үсеш процессында электр белән идарә итү системасы җылылык көчен автоматик рәвештә температура сенсоры белән тукландырылган температура сигналы буенча көйли ала; кристаллның үсеше буенча, ул орлык кристаллының хәрәкәт тизлеген һәм әйләнү почмагын контрольдә тота ала. Шул ук вакытта, электр белән идарә итү системасында шулай ук җитешсезлек диагностикасы һәм сигнализация функцияләре бар, алар җиһазның аномаль шартларын вакытында ачыклый һәм җиһазның куркынычсыз эшләвен тәэмин итә ала.
Пост вакыты: 23-2024 сентябрь