Фотолитография машиналарының төгәл өлешләре өчен өстенлекле материал
Ярымүткәргеч кырында,кремний карбид керамикасыматериаллар, нигездә, кремний карбид эш таблицасы, юл күрсәткечләре кебек интеграль схема җитештерү өчен төп җиһазларда кулланыла.рефлекторлар, керамик сорау, литография машиналары өчен куллар, тарткыч дисклар, приборлар һ.б.
Кремний карбид керамик өлешләреярымүткәргеч һәм оптик җиһаз өчен
● Кремний карбид керамик тарткыч диск. Тегермән дискы чуен яки углерод корычтан эшләнгән булса, аның хезмәт итү вакыты кыска һәм җылылык киңәйтү коэффициенты зур. Кремний вафиннарын эшкәртү вакытында, аеруча югары тизлектә тарту яки полировка вакытында, тарту дискының тузуы һәм җылылык деформациясе кремний вафатының яссылыгын һәм параллелизмын тәэмин итүне кыенлаштыра. Кремний карбид керамикасыннан ясалган тарту дискы каты һәм түбән киемле, һәм җылылык киңәйтү коэффициенты кремний вафалары белән бертигез, шуңа күрә ул җир өстендә һәм югары тизлектә бизәлгән булырга мөмкин.
● Кремний карбид керамик җиһаз. Моннан тыш, кремний вафиннары җитештерелгәндә, алар югары температурада җылылык белән эшкәртелергә тиеш һәм еш кына кремний карбид җайланмалары ярдәмендә ташыла. Алар җылылыкка чыдам һәм җимергеч түгел. Алмазга охшаган углерод (DLC) һәм башка капламалар эшне көчәйтү, вафин зыянын җиңеләйтү һәм пычрануның таралуы өчен кулланылырга мөмкин.
● Кремний карбид эш урыны. Литография машинасында эш өстәлен мисал итеп алсак, эш таблицасы, нигездә, экспозиция хәрәкәтен тәмамлау өчен җаваплы, югары тизлекле, зур инсультлы, алты градус ирекле нано дәрәҗәсендәге ультра төгәллек хәрәкәтен таләп итә. Мисал өчен, 100нм резолюциясе булган литографик машина өчен, 33нм каплауның төгәллеге, һәм сызыкның киңлеге 10нм, эш урынын урнаштыру төгәллеге 10нмга җитәргә тиеш, маска-кремний вафин берьюлы адым ясау һәм сканерлау тизлеге 150нм / с. һәм 120nm / s, һәм масканы сканерлау тизлеге 500nm / s якын, һәм эш таблицасы бик югары хәрәкәт төгәллеге һәм тотрыклылыгы булырга тиеш.
Эш таблицасының схематик схемасы һәм микро-хәрәкәт таблицасы (өлешчә бүлек)
● Кремний карбид керамик квадрат көзге. Литографик машиналар кебек төп интеграль схема җиһазларының төп компонентлары катлаулы формаларга, катлаулы үлчәмнәргә һәм буш җиңел корылмаларга ия, мондый кремний карбид керамик компонентларын әзерләү кыенлаша. Хәзерге вакытта Нидерландтагы ASML, Япониядә NIKON һәм CANON кебек халыкара интеграль челтәр җиһазлары җитештерүчеләре квадрат көзгеләр, литография машиналарының төп компонентлары, кремний карбид куллану өчен микрокристалл пыяла һәм кордиерит кебек күп материал кулланалар. гади формадагы башка югары җитештерүчән структур компонентларны әзерләү өчен керамика. Шулай да, Кытай төзелеш материалларын тикшерү институты белгечләре зур күләмле, катлаулы формадагы, бик җиңел, кремний карбид керамик квадрат көзге һәм литографик машиналар өчен башка структур һәм функциональ оптик компонентлар әзерләүгә ирешү өчен, милек әзерләү технологиясен кулландылар.
Пост вакыты: 10-2024 октябрь