1. Чистартканчы рәхмәт
1) КайчанPECVD графит көймәсе/ ташучы 100-150 тапкыр артык кулланыла, оператор каплау торышын вакытында тикшерергә тиеш. Аномаль каплау булса, аны чистартырга һәм расларга кирәк. Графит көймәсендә / ташучыда кремний вафиның гадәти каплау төсе зәңгәр. Вафер зәңгәр булмаган, күп төсләр булса, яки ваферлар арасындагы төс аермасы зур булса, бу аномаль каплау, һәм аномальлекнең сәбәбен вакытында расларга кирәк.
2) Процесстан соң персонал каплау торышын анализлыйPECVD графит көймәсе/ ташучы, алар графит көймәне чистартырга кирәкме-юкмы һәм карточканы алыштырырга кирәкме-юкмы икәнен ачыклаячаклар, чистартырга кирәк булган графит көймә / ташучы җиһаз персоналына чистарту өчен биреләчәк.
3)графит көймә/ ташучы бозылган, производство хезмәткәрләре графит көймәсендәге барлык кремний вафаларын чыгарырлар һәм CDA (кысылган һава) кулланып, фрагментларны тәртипкә китерерләр.графит көймә. Тәмамланганнан соң, җиһаз персоналын чистарту өчен HF эремәсенең билгеле бер өлеше белән әзерләнгән кислота танкына күтәрәчәкләр.
2. Графит көймәне чистарту
Өч раунд чистарту өчен 15-25% гидрофлор кислотасы эремәсе кулланырга киңәш ителә, һәрберсе 4-5 сәгать, һәм вакыт-вакыт азотны чистарту һәм чистарту процессында ярты сәгать чистарту өстәп; искәрмә: һаваны турыдан-туры газ чыганагы итеп куллану киңәш ителми. Тозлагач, 10 сәгать чамасы чиста су белән юыгыз һәм көймәнең яхшылап чистартылганын раслагыз. Чистартканнан соң, көймә өслеген, графит карточкасын һәм көймә таблицасын һәм башка өлешләрне кремний нитрид калдыклары барлыгын тикшерегез. Аннары таләпләр буенча киптерегез.
3. Чистарту чаралары
А) HF кислотасы бик коррозив матдә булганлыктан һәм билгеле үзгәрүчәнлеккә ия булганлыктан, операторлар өчен куркыныч. Шуңа күрә чистарту постындагы операторлар куркынычсызлык чараларын күрергә һәм махсус кеше белән идарә итәргә тиеш.
Б) Көймәне сүтеп, чистарту вакытында графит өлешен чистартырга киңәш ителә, шулай итеп һәрбер контакт өлешен яхшырак чистартып була. Хәзерге вакытта күпчелек көнкүреш җитештерүчеләре гомуми чистарту кулланалар, бу уңайлы, ләкин HF кислотасы керамик өлешләргә коррозив булганлыктан, гомуми чистарту тиешле өлешләрнең хезмәт срогын кыскартачак.
Пост вакыты: 23-2024 декабрь