สัตวแพทย์ พลังงานถาดกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์, เพลต และฝาครอบได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อมอบประสิทธิภาพระดับสูงสุด โดยให้การทำงานที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอตลอดการใช้งานที่ยาวนาน ทำให้เป็นตัวเลือกที่สำคัญสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ที่มีประสิทธิภาพสูงนี้แผ่นกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความต้านทานความร้อนเป็นพิเศษ ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า และความเสถียรทางเคมีที่โดดเด่น โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูง ควบคู่ไปกับความต้านทานการกัดเซาะขั้นสูง ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูง เช่นตัวรับ MOCVD.
คุณสมบัติที่สำคัญของถาด แผ่น และฝาปิดเคลือบกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์
1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนทานต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1700°C ทำให้สามารถทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาวะที่รุนแรง
2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน:ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการใช้งาน MOCVD
3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ต่างๆ ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่หลากหลาย
4. ความแข็งสูงและพื้นผิวที่กะทัดรัด:โดดเด่นด้วยพื้นผิวที่หนาแน่นพร้อมอนุภาคละเอียด ปรับปรุงความทนทานโดยรวมและความต้านทานต่อการสึกหรอ
5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่อให้มีอายุการใช้งานยาวนาน เหนือกว่าแบบเดิมๆตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง
ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能 คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ | |
性质 / คุณสมบัติ | 典型数值 / ค่าทั่วไป |
晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล | เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向 |
密度 / ความหนาแน่น | 3.21 ก./ซม.³ |
硬度 /ความแข็ง | 2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม) |
晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe | 2~10ไมโครเมตร |
纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี | 99.99995% |
热容 /ความจุความร้อน | 640 เจ·กก-1·เค-1 |
升华温度 /อุณหภูมิระเหิด | 2,700 ℃ |
抗弯强度 / แรงดัดงอ | 415 MPa RT 4 จุด |
杨氏模量 / โมดูลัสของยัง | 430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃ |
导热系数 / เธอร์มาลการนำไฟฟ้า | 300W·ม-1·เค-1 |
热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
ความเชี่ยวชาญของ VET Energy ในด้านโซลูชันกราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการ
ในฐานะผู้ผลิตที่เชื่อถือได้ VET Energy เชี่ยวชาญด้านตัวรับกราไฟท์และโซลูชันการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ออกแบบตามความต้องการ เรานำเสนอผลิตภัณฑ์ที่หลากหลายซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ รวมถึงส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ SiCเช่นถาด จาน และฝา กลุ่มผลิตภัณฑ์ของเรายังมีตัวเลือกการเคลือบที่หลากหลาย เช่นการเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD, การเคลือบแทซี, เคลือบคาร์บอนแบบแก้วและการเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เพื่อให้มั่นใจว่าเราตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง
ทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ของเรา ซึ่งประกอบด้วยผู้เชี่ยวชาญจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ ให้บริการโซลูชั่นด้านวัสดุที่ครอบคลุมแก่ลูกค้า เราปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงของเราอย่างต่อเนื่อง รวมถึงเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์และซับสเตรตกราไฟท์ ลดความเสี่ยงของการหลุดออกและยืดอายุของผลิตภัณฑ์ให้ดียิ่งขึ้น
การใช้งานและคุณประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ที่การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ MOCVDทำให้ตัวรับกราไฟต์เหล่านี้มีประสิทธิภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ไม่ว่าจะใช้เป็นตัวพาเวเฟอร์กราไฟต์หรือส่วนประกอบ MOCVD อื่นๆ ตัวรับที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์เหล่านี้แสดงให้เห็นถึงความทนทานและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า สำหรับผู้ที่กำลังมองหาโซลูชั่นที่เชื่อถือได้ในตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCตลาด ถาด แผ่น และฝาปิดเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VET Energy นำเสนอตัวเลือกที่แข็งแกร่งและอเนกประสงค์ซึ่งตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ด้วยการมุ่งเน้นไปที่วัสดุศาสตร์ขั้นสูง VET Energy มุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชันกราไฟท์เคลือบ SiC ประสิทธิภาพสูง ซึ่งขับเคลื่อนนวัตกรรมในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ และรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับ MOCVD ทั้งหมด
VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์
ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้
เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้นและมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง
ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!