แผ่นและฝาครอบถาดกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

คำอธิบายสั้น ๆ :

แผ่นกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์และฝาครอบ VET Energy เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

สัตวแพทย์ พลังงานถาดกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์, เพลต และฝาครอบได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อมอบประสิทธิภาพระดับสูงสุด โดยให้การทำงานที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอตลอดการใช้งานที่ยาวนาน ทำให้เป็นตัวเลือกที่สำคัญสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ที่มีประสิทธิภาพสูงนี้แผ่นกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์มีความต้านทานความร้อนเป็นพิเศษ ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า และความเสถียรทางเคมีที่โดดเด่น โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาวะที่มีอุณหภูมิสูง โครงสร้างที่มีความบริสุทธิ์สูง ควบคู่ไปกับความต้านทานการกัดเซาะขั้นสูง ทำให้เป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้สำหรับสภาพแวดล้อมที่มีความต้องการสูง เช่นตัวรับ MOCVD.

7

คุณสมบัติที่สำคัญของถาด แผ่น และฝาปิดเคลือบกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนทานต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1700°C ทำให้สามารถทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในสภาวะที่รุนแรง

2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน:ความบริสุทธิ์สูงและการกระจายความร้อนสม่ำเสมอเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการใช้งาน MOCVD

3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่ยอดเยี่ยม:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ต่างๆ ทำให้มั่นใจได้ถึงความเสถียรในระยะยาวในสภาพแวดล้อมที่หลากหลาย

4. ความแข็งสูงและพื้นผิวที่กะทัดรัด:โดดเด่นด้วยพื้นผิวที่หนาแน่นพร้อมอนุภาคละเอียด ปรับปรุงความทนทานโดยรวมและความต้านทานต่อการสึกหรอ

5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่อให้มีอายุการใช้งานยาวนาน เหนือกว่าแบบเดิมๆตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ในสภาพแวดล้อมการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่รุนแรง

 

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

ความเชี่ยวชาญของ VET Energy ในด้านโซลูชันกราไฟท์และซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการ

ในฐานะผู้ผลิตที่เชื่อถือได้ VET Energy เชี่ยวชาญด้านตัวรับกราไฟท์และโซลูชันการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ออกแบบตามความต้องการ เรานำเสนอผลิตภัณฑ์ที่หลากหลายซึ่งได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ รวมถึงส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ SiCเช่นถาด จาน และฝา กลุ่มผลิตภัณฑ์ของเรายังมีตัวเลือกการเคลือบที่หลากหลาย เช่นการเคลือบ SiC สำหรับ MOCVD, การเคลือบแทซี, เคลือบคาร์บอนแบบแก้วและการเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก เพื่อให้มั่นใจว่าเราตอบสนองความต้องการที่หลากหลายของอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง

ทีมงานด้านเทคนิคที่มีประสบการณ์ของเรา ซึ่งประกอบด้วยผู้เชี่ยวชาญจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ ให้บริการโซลูชั่นด้านวัสดุที่ครอบคลุมแก่ลูกค้า เราปรับปรุงกระบวนการขั้นสูงของเราอย่างต่อเนื่อง รวมถึงเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะซึ่งช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์และซับสเตรตกราไฟท์ ลดความเสี่ยงของการหลุดออกและยืดอายุของผลิตภัณฑ์ให้ดียิ่งขึ้น

การใช้งานและคุณประโยชน์ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ที่การเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับ MOCVDทำให้ตัวรับกราไฟต์เหล่านี้มีประสิทธิภาพสูงในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ไม่ว่าจะใช้เป็นตัวพาเวเฟอร์กราไฟต์หรือส่วนประกอบ MOCVD อื่นๆ ตัวรับที่เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์เหล่านี้แสดงให้เห็นถึงความทนทานและประสิทธิภาพที่เหนือกว่า สำหรับผู้ที่กำลังมองหาโซลูชั่นที่เชื่อถือได้ในตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCตลาด ถาด แผ่น และฝาปิดเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของ VET Energy นำเสนอตัวเลือกที่แข็งแกร่งและอเนกประสงค์ซึ่งตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

ด้วยการมุ่งเน้นไปที่วัสดุศาสตร์ขั้นสูง VET Energy มุ่งมั่นที่จะนำเสนอโซลูชันกราไฟท์เคลือบ SiC ประสิทธิภาพสูง ซึ่งขับเคลื่อนนวัตกรรมในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ และรับประกันประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้ในการใช้งานที่เกี่ยวข้องกับ MOCVD ทั้งหมด

1

2

VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้นและมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 

 

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • สินค้าที่เกี่ยวข้อง

    แชทออนไลน์ WhatsApp!