CVD SiC เคลือบคาร์บอน-คาร์บอนคอมโพสิต CFC เรือแม่พิมพ์

คำอธิบายสั้น ๆ :

เรือ/แม่พิมพ์เคลือบ CFC ของ VET Energy SiC เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

รายละเอียดสินค้า

คาร์บอน / คาร์บอนคอมโพสิต(ต่อไปนี้จะเรียกว่า “C/C หรือ CFC") เป็นวัสดุคอมโพสิตชนิดหนึ่งซึ่งมีพื้นฐานจากคาร์บอนและเสริมด้วยคาร์บอนไฟเบอร์และผลิตภัณฑ์จากมัน (พรีฟอร์มของคาร์บอนไฟเบอร์) มีทั้งความเฉื่อยของคาร์บอนและความแข็งแรงสูงของคาร์บอนไฟเบอร์ มีคุณสมบัติทางกลที่ดี ทนความร้อน ทนต่อการกัดกร่อน ลดแรงเสียดทาน และมีคุณสมบัติการนำความร้อนและไฟฟ้า

CVD-SiCการเคลือบมีลักษณะโครงสร้างสม่ำเสมอ วัสดุขนาดกะทัดรัด ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชัน มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อกรดและด่าง และรีเอเจนต์อินทรีย์ พร้อมคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่เสถียร

คุณสมบัติหลัก:

1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันยังคงดีมากเมื่ออุณหภูมิสูงถึง 1,600 C
2. ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมไอสารเคมีภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
3. ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง, พื้นผิวที่กะทัดรัด, อนุภาคละเอียด
4. ความต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / ทรัพย์สิน

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 / โครงสร้างคริสตัล

FCC β เฟส 多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 / ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เกรน SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 / ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 / อุณหภูมิการระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / ความแข็งแรงของแรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / การนำความร้อน

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน (CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

VET Energy เป็นผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์ที่ปรับแต่งตามความต้องการอย่างแท้จริงซึ่งมีการเคลือบที่แตกต่างกัน เช่น การเคลือบ SiC, การเคลือบ TaC, การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว, การเคลือบคาร์บอนไพโรไลติก ฯลฯ สามารถจัดหาชิ้นส่วนแบบกำหนดเองต่างๆ สำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์

ทีมเทคนิคของเรามาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชันวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นให้กับคุณได้

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงยิ่งขึ้น และได้คิดค้นเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้การยึดเกาะระหว่างการเคลือบและซับสเตรตแน่นขึ้นและมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户

 


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!