1. รับทราบก่อนทำความสะอาด
1) เมื่อเรือกราไฟท์ PECVD/carrier มีการใช้งานมากกว่า 100 ถึง 150 ครั้ง ผู้ปฏิบัติงานจำเป็นต้องตรวจสอบสภาพการเคลือบให้ทันเวลา หากมีการเคลือบที่ผิดปกติจะต้องทำความสะอาดและยืนยัน สีเคลือบปกติของเวเฟอร์ซิลิคอนในเรือ/ตัวพากราไฟท์คือสีน้ำเงิน หากแผ่นเวเฟอร์ไม่มีสีน้ำเงิน มีหลายสี หรือมีความแตกต่างของสีระหว่างเวเฟอร์มาก ถือเป็นการเคลือบที่ผิดปกติ และจำเป็นต้องยืนยันสาเหตุของความผิดปกติอย่างทันท่วงที
2) หลังจากกระบวนการบุคลากรวิเคราะห์สภาพการเคลือบของเรือกราไฟท์ PECVD/carrier พวกเขาจะพิจารณาว่าจำเป็นต้องทำความสะอาดเรือกราไฟท์หรือไม่ และจำเป็นต้องเปลี่ยนจุดการ์ดหรือไม่ และเรือกราไฟท์/เรือบรรทุกที่ต้องทำความสะอาดจะถูกส่งมอบให้กับเจ้าหน้าที่อุปกรณ์เพื่อทำความสะอาด
3) หลังจากเรือกราไฟท์/ตัวขนส่งได้รับความเสียหาย เจ้าหน้าที่ฝ่ายผลิตจะนำเวเฟอร์ซิลิคอนทั้งหมดในเรือกราไฟท์ออกมา และใช้ CDA (อากาศอัด) เพื่อคัดแยกชิ้นส่วนในเรือเรือกราไฟท์- หลังจากเสร็จสิ้น เจ้าหน้าที่อุปกรณ์จะยกมันลงในถังกรดที่เตรียมไว้ด้วยสารละลาย HF ในสัดส่วนที่แน่นอนสำหรับการทำความสะอาด
2. การทำความสะอาดเรือกราไฟท์
ขอแนะนำให้ใช้สารละลายกรดไฮโดรฟลูออริก 15-25% สำหรับการทำความสะอาด 3 รอบ ครั้งละ 4-5 ชั่วโมง และทำให้เกิดฟองไนโตรเจนเป็นระยะในระหว่างกระบวนการแช่และทำความสะอาด โดยเพิ่มการทำความสะอาดประมาณครึ่งชั่วโมง หมายเหตุ: ไม่แนะนำให้ใช้อากาศโดยตรงเป็นแหล่งก๊าซในการทำให้เกิดฟอง หลังจากดองแล้วให้ล้างออกด้วยน้ำสะอาดประมาณ 10 ชั่วโมง และตรวจดูให้แน่ใจว่าได้ทำความสะอาดเรืออย่างทั่วถึงแล้ว หลังจากทำความสะอาดแล้ว โปรดตรวจสอบพื้นผิวของเรือ จุดการ์ดกราไฟท์ และข้อต่อแผ่นเรือ และส่วนอื่นๆ เพื่อดูว่ามีซิลิคอนไนไตรด์ตกค้างอยู่หรือไม่ จากนั้นจึงทำให้แห้งตามความต้องการ
3. ข้อควรระวังในการทำความสะอาด
A) เนื่องจากกรด HF เป็นสารที่มีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและมีความผันผวนในระดับหนึ่ง จึงเป็นอันตรายต่อผู้ปฏิบัติงาน ดังนั้น ผู้ปฏิบัติงานที่จุดทำความสะอาดจะต้องใช้มาตรการป้องกันด้านความปลอดภัยและได้รับการจัดการโดยบุคคลที่ทุ่มเทโดยเฉพาะ
B) ขอแนะนำให้ถอดแยกชิ้นส่วนเรือและทำความสะอาดเฉพาะส่วนกราไฟท์ในระหว่างการทำความสะอาดเท่านั้น เพื่อให้สามารถทำความสะอาดส่วนที่สัมผัสแต่ละส่วนได้ละเอียดยิ่งขึ้น ปัจจุบันผู้ผลิตในประเทศหลายรายใช้การทำความสะอาดโดยรวมซึ่งสะดวก แต่เนื่องจากกรด HF มีฤทธิ์กัดกร่อนชิ้นส่วนเซรามิก การทำความสะอาดโดยรวมจะทำให้อายุการใช้งานของชิ้นส่วนที่เกี่ยวข้องสั้นลง
เวลาโพสต์: 23 ธันวาคม 2024