VET Energy SiC เคลือบ Susceptorเป็นโซลูชันประสิทธิภาพสูงที่สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันเพื่อมอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอตลอดอายุการใช้งานที่ขยายออกไป ตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์นี้มีคุณสมบัติทนความร้อนเป็นพิเศษ ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า และมีความบริสุทธิ์สูง ผลิตภัณฑ์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับตัวพาเวเฟอร์ MOCVD และการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์อื่นๆ ที่ต้องการความเสถียรและความแม่นยำ ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งทำให้เป็นตัวเลือกระดับพรีเมียมสำหรับสภาพแวดล้อมที่ความทนทานและความยืดหยุ่นทางเคมีเป็นสิ่งสำคัญ
ของเราตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCถือเป็นองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะของ VET Energy เพื่อให้ได้ความบริสุทธิ์ที่สูงมาก ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่เหนือกว่า และความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่น การเคลือบช่วยเพิ่มพื้นผิวกราไฟท์ให้ทนทานต่อสารเคมีสูงและมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นอย่างมาก การอุทิศตนเพื่อคุณภาพของ VET Energy ส่งผลให้ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของตลาดผู้ให้บริการเวเฟอร์กราไฟท์ ซึ่งสร้างมาตรฐานระดับสูงสำหรับตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ที่ใช้ในกระบวนการ MOCVD.
คุณสมบัติที่สำคัญของตัวรับเคลือบ SiC:
1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1700°C ทำให้เหมาะสำหรับสภาวะการประมวลผลที่รุนแรง
2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน:รับรองผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ สำคัญสำหรับตัวรับ MOCVDและการใช้งานที่แม่นยำอื่นๆ
3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์ต่างๆ
4. ความแข็งผิวที่เพิ่มขึ้น:พื้นผิวกะทัดรัดด้วยอนุภาคละเอียดที่ให้ความทนทานและอายุการใช้งานยาวนานยิ่งขึ้น
5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่อประสิทธิภาพที่ยั่งยืน เหนือกว่าตัวรับเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาตรฐานในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง
ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำ VET Energy เชี่ยวชาญด้านกราไฟท์แบบสั่งทำและผลิตภัณฑ์ซิลิคอนคาร์ไบด์พร้อมตัวเลือกการเคลือบที่หลากหลายได้แก่การเคลือบ SiC, การเคลือบแทซี, เคลือบคาร์บอนคล้ายแก้วและการเคลือบคาร์บอนแบบไพโรไลติก เราภาคภูมิใจที่ให้บริการแก่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ โดยนำเสนอตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตอบสนองความต้องการในการปฏิบัติงานเฉพาะด้าน
ทีมงานด้านเทคนิคของเราซึ่งมีประสบการณ์จากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ ทุ่มเทให้กับการพัฒนาโซลูชันด้านวัสดุสำหรับความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCตลาด. ด้วยกระบวนการที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของเรา VET Energy ได้พัฒนาเทคโนโลยีเฉพาะที่ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะระหว่างการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์และพื้นผิวอย่างมีนัยสำคัญ ช่วยลดความเสี่ยงของการหลุดออกและเพิ่มความน่าเชื่อถือในระยะยาว
การใช้งานและข้อดีในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์
ที่การเคลือบ SiC สำหรับ MOCVDช่วยให้ตัวรับกราไฟท์ส่วนประกอบเพื่อรักษาความสมบูรณ์ภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ซึ่งมีความสำคัญต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำ ส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ SiC เหล่านี้มีคุณค่าเป็นพิเศษในกระบวนการที่ต้องใช้ตัวรับเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์สำหรับผู้ให้บริการเวเฟอร์กราไฟท์ซึ่งต้องการความเสถียรทางความร้อน ความบริสุทธิ์ และความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีสูง
ด้วยเทคนิคการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ขั้นสูงของเรา VET Energy ยังคงสนับสนุนตลาดตัวพาแผ่นเวเฟอร์กราไฟท์โดยการส่งมอบประสิทธิภาพสูงที่ปรับแต่งเองได้ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCที่จัดการกับความท้าทายเฉพาะอุตสาหกรรม ตั้งแต่กระบวนการ MOCVD ไปจนถึงการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงในสาขาเซมิคอนดักเตอร์