พื้นผิวกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์ MOCVD Susceptor

คำอธิบายสั้น ๆ :

VET Energy SiC Coated Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


  • สถานที่กำเนิด:เจ้อเจียง, จีน (แผ่นดินใหญ่)
  • หมายเลขรุ่น:หมายเลขรุ่น:
  • องค์ประกอบทางเคมี:กราไฟท์เคลือบ SiC
  • กำลังรับแรงดัดงอ:470Mpa
  • การนำความร้อน:300 วัตต์/ลูกบาศก์เมตร
  • คุณภาพ:สมบูรณ์แบบ
  • การทำงาน:CVD-SiC
  • แอปพลิเคชัน:เซมิคอนดักเตอร์/ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์
  • ความหนาแน่น:3.21 ก./ซีซี
  • การขยายตัวทางความร้อน:4 10-6/ก
  • เถ้า: <5 หน้าต่อนาที
  • ตัวอย่าง:ใช้ได้
  • รหัส HS:6903100000
  • รายละเอียดสินค้า

    แท็กสินค้า

    VET Energy SiC เคลือบ Susceptorเป็นโซลูชันประสิทธิภาพสูงที่สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันเพื่อมอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอตลอดอายุการใช้งานที่ขยายออกไป ตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ผลิตภัณฑ์นี้มีคุณสมบัติทนความร้อนเป็นพิเศษ ความสม่ำเสมอทางความร้อนที่เหนือกว่า และมีความบริสุทธิ์สูง ผลิตภัณฑ์นี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับตัวพาเวเฟอร์ MOCVD และการใช้งานการประมวลผลเวเฟอร์อื่นๆ ที่ต้องการความเสถียรและความแม่นยำ ความต้านทานการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งทำให้เป็นตัวเลือกระดับพรีเมียมสำหรับสภาพแวดล้อมที่ความทนทานและความยืดหยุ่นทางเคมีเป็นสิ่งสำคัญ

    ของเราตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCถือเป็นองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีที่ได้รับสิทธิบัตรเฉพาะของ VET Energy เพื่อให้ได้ความบริสุทธิ์ที่สูงมาก ความสม่ำเสมอของการเคลือบที่เหนือกว่า และความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่น การเคลือบช่วยเพิ่มพื้นผิวกราไฟท์ให้ทนทานต่อสารเคมีสูงและมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้นอย่างมาก การอุทิศตนเพื่อคุณภาพของ VET Energy ส่งผลให้ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ตอบสนองความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของตลาดผู้ให้บริการเวเฟอร์กราไฟท์ ซึ่งสร้างมาตรฐานระดับสูงสำหรับตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiC ที่ใช้ในกระบวนการ MOCVD.

    64

    คุณสมบัติที่สำคัญของตัวรับเคลือบ SiC:

    1. ความต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง:ทนต่ออุณหภูมิได้สูงถึง 1700°C ทำให้เหมาะสำหรับสภาวะการประมวลผลที่รุนแรง

    2. ความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน:รับรองผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอ สำคัญสำหรับตัวรับ MOCVDและการใช้งานที่แม่นยำอื่นๆ

    3. ความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม:ทนทานต่อกรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์ต่างๆ

    4. ความแข็งผิวที่เพิ่มขึ้น:พื้นผิวกะทัดรัดด้วยอนุภาคละเอียดที่ให้ความทนทานและอายุการใช้งานยาวนานยิ่งขึ้น

    5. อายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:ออกแบบมาเพื่อประสิทธิภาพที่ยั่งยืน เหนือกว่าตัวรับเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มาตรฐานในสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่รุนแรง

     

    ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำ VET Energy เชี่ยวชาญด้านกราไฟท์แบบสั่งทำและผลิตภัณฑ์ซิลิคอนคาร์ไบด์พร้อมตัวเลือกการเคลือบที่หลากหลายได้แก่การเคลือบ SiC, การเคลือบแทซี, เคลือบคาร์บอนคล้ายแก้วและการเคลือบคาร์บอนแบบไพโรไลติก เราภาคภูมิใจที่ให้บริการแก่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ โดยนำเสนอตัวรับกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ตอบสนองความต้องการในการปฏิบัติงานเฉพาะด้าน

    ทีมงานด้านเทคนิคของเราซึ่งมีประสบการณ์จากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ ทุ่มเทให้กับการพัฒนาโซลูชันด้านวัสดุสำหรับความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCตลาด. ด้วยกระบวนการที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของเรา VET Energy ได้พัฒนาเทคโนโลยีเฉพาะที่ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะระหว่างการเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์และพื้นผิวอย่างมีนัยสำคัญ ช่วยลดความเสี่ยงของการหลุดออกและเพิ่มความน่าเชื่อถือในระยะยาว

    1

    การใช้งานและข้อดีในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

    ที่การเคลือบ SiC สำหรับ MOCVDช่วยให้ตัวรับกราไฟท์ส่วนประกอบเพื่อรักษาความสมบูรณ์ภายใต้สภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ซึ่งมีความสำคัญต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความแม่นยำ ส่วนประกอบกราไฟท์เคลือบ SiC เหล่านี้มีคุณค่าเป็นพิเศษในกระบวนการที่ต้องใช้ตัวรับเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์สำหรับผู้ให้บริการเวเฟอร์กราไฟท์ซึ่งต้องการความเสถียรทางความร้อน ความบริสุทธิ์ และความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีสูง

    ด้วยเทคนิคการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ขั้นสูงของเรา VET Energy ยังคงสนับสนุนตลาดตัวพาแผ่นเวเฟอร์กราไฟท์โดยการส่งมอบประสิทธิภาพสูงที่ปรับแต่งเองได้ตัวรับกราไฟท์เคลือบ SiCที่จัดการกับความท้าทายเฉพาะอุตสาหกรรม ตั้งแต่กระบวนการ MOCVD ไปจนถึงการใช้งานที่มีความบริสุทธิ์สูงในสาขาเซมิคอนดักเตอร์

    284

    ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเพื่อเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户

     

     


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!