vet-china รับประกันว่าทนทานทุกชิ้นพายจับเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์มีประสิทธิภาพและความทนทานเป็นเลิศ ไม้พายจัดการแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนคาร์ไบด์นี้ใช้กระบวนการผลิตขั้นสูงเพื่อให้แน่ใจว่าความเสถียรของโครงสร้างและการทำงานของมันจะยังคงอยู่ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนของสารเคมี การออกแบบเชิงนวัตกรรมนี้ให้การสนับสนุนที่ดีเยี่ยมสำหรับการจัดการแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับการดำเนินการอัตโนมัติที่มีความแม่นยำสูง
ไม้พาย SiC Cantileverเป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาออกซิเดชั่น เตาแพร่ และเตาหลอม การใช้งานหลักคือการขนถ่ายแผ่นเวเฟอร์ รองรับและขนส่งเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง
โครงสร้างทั่วไปของซิซีcต่อต้านลีเวอร์pแอดเดิล: โครงสร้างคานยื่นออกมาซึ่งยึดไว้ที่ปลายด้านหนึ่งและเป็นอิสระอีกด้านหนึ่ง โดยทั่วไปจะมีการออกแบบที่แบนและคล้ายไม้พาย
การทำงานpหลักการของซิซีcต่อต้านลีเวอร์pแอดเดิล:
ไม้พายยื่นออกไปสามารถเลื่อนขึ้นและลงหรือไปมาภายในห้องเตาเผา โดยสามารถใช้เพื่อย้ายเวเฟอร์จากพื้นที่โหลดไปยังพื้นที่แปรรูป หรือออกจากพื้นที่แปรรูป โดยรองรับและทำให้เวเฟอร์มีความเสถียรในระหว่างการประมวลผลที่อุณหภูมิสูง
| คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
| คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
| อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
| เนื้อหา SiC | > 99.96% |
| เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
| ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
| มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
| แรงอัด | > 600 เมกะปาสคาล |
| แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
| แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
| การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
| การนำความร้อนที่ 1200°C | 23 วัตต์/เมตร•เค |
| โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
| ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
