ขั้นสูงไม้พาย SiC Cantileverสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่สร้างโดย vet-china ถือเป็นโซลูชั่นที่ยอดเยี่ยมสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไม้พายยื่นได้นี้ทำจากวัสดุ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) และมีความแข็งและทนความร้อนสูง ทำให้สามารถรักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนได้ การออกแบบ Cantilever Paddle ช่วยให้เวเฟอร์ได้รับการรองรับอย่างน่าเชื่อถือในระหว่างการประมวลผล ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการแตกหักและความเสียหาย
ไม้พาย SiC Cantileverเป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาออกซิเดชั่น เตาแพร่ และเตาหลอม การใช้งานหลักคือการขนถ่ายแผ่นเวเฟอร์ รองรับและขนส่งเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง
โครงสร้างทั่วไปของซิซีcต่อต้านลีเวอร์pแอดเดิล: โครงสร้างคานยื่นออกมาซึ่งยึดไว้ที่ปลายด้านหนึ่งและเป็นอิสระอีกด้านหนึ่ง โดยทั่วไปจะมีการออกแบบที่แบนและคล้ายไม้พาย
VET Energy ใช้วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ตกผลึกที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อรับประกันคุณภาพ
คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่ | |
คุณสมบัติ | ค่าทั่วไป |
อุณหภูมิในการทำงาน (°C) | 1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม) |
เนื้อหา SiC | > 99.96% |
เนื้อหาศรีฟรี | <0.1% |
ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม | 2.60-2.70 ก./ซม3 |
มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด | < 16% |
แรงอัด | > 600MPa |
แรงดัดงอเย็น | 80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ) |
แรงดัดงอร้อน | 90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C) |
การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C | 4.70 10-6/°ซ |
การนำความร้อนที่ 1200°C | 23W/ม•เค |
โมดูลัสยืดหยุ่น | 240 เกรดเฉลี่ย |
ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน | ดีมาก |
ข้อดีของไม้พาย SiC Cantilever ขั้นสูงของ VET Energy สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์คือ:
- ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง: ใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่สูงกว่า 1,600 ° C;
- ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ: รักษาความเสถียรของมิติ ลดความเสี่ยงในการบิดเบี้ยวของแผ่นเวเฟอร์
- ความบริสุทธิ์สูง: ลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของโลหะ
-ความเฉื่อยของสารเคมี: ทนต่อการกัดกร่อน เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมของก๊าซต่างๆ
- ความแข็งแรงและความแข็งสูง: ทนต่อการสึกหรอและมีอายุการใช้งานยาวนาน
-การนำความร้อนที่ดี: ช่วยในการทำความร้อนแผ่นเวเฟอร์สม่ำเสมอ