ไม้พาย SiC Cantilever ขั้นสูงสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์

คำอธิบายสั้น ๆ :

vet-china เปิดตัว SiC Cantilever Paddle ขั้นสูงสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ โดยใช้วัสดุ SiC ที่มีเทคโนโลยีสูงเพื่อปรับปรุงประสิทธิภาพและความแม่นยำของการประมวลผลเวเฟอร์ ไม้พายคานยื่นของ Vet-china มีคุณสมบัติต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพการจัดการแผ่นเวเฟอร์ที่มีเสถียรภาพในสภาพแวดล้อมการผลิตที่รุนแรง ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับการปรับปรุงผลผลิต


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ขั้นสูงไม้พาย SiC Cantileverสำหรับการประมวลผลเวเฟอร์ที่สร้างโดย vet-china ถือเป็นโซลูชั่นที่ยอดเยี่ยมสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ไม้พายยื่นได้นี้ทำจากวัสดุ SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) และมีความแข็งและทนความร้อนสูง ทำให้สามารถรักษาประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนได้ การออกแบบ Cantilever Paddle ช่วยให้เวเฟอร์ได้รับการรองรับอย่างน่าเชื่อถือในระหว่างการประมวลผล ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการแตกหักและความเสียหาย

ไม้พาย SiC Cantileverเป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น เตาออกซิเดชั่น เตาแพร่ และเตาหลอม การใช้งานหลักคือการขนถ่ายแผ่นเวเฟอร์ รองรับและขนส่งเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง

โครงสร้างทั่วไปของซิซีcต่อต้านลีเวอร์pแอดเดิล: โครงสร้างคานยื่นออกมาซึ่งยึดไว้ที่ปลายด้านหนึ่งและเป็นอิสระอีกด้านหนึ่ง โดยทั่วไปจะมีการออกแบบที่แบนและคล้ายไม้พาย

VET Energy ใช้วัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ตกผลึกที่มีความบริสุทธิ์สูงเพื่อรับประกันคุณภาพ

คุณสมบัติทางกายภาพของซิลิคอนคาร์ไบด์ตกผลึกใหม่

คุณสมบัติ

ค่าทั่วไป

อุณหภูมิในการทำงาน (°C)

1600°C (พร้อมออกซิเจน), 1700°C (ลดสภาพแวดล้อม)

เนื้อหา SiC

> 99.96%

เนื้อหาศรีฟรี

<0.1%

ความหนาแน่นเป็นกลุ่ม

2.60-2.70 ก./ซม3

มีความพรุนอย่างเห็นได้ชัด

< 16%

แรงอัด

> 600MPa

แรงดัดงอเย็น

80-90 เมกะปาสคาล (20°ซ)

แรงดัดงอร้อน

90-100 เมกะปาสคาล (1,400°C)

การขยายตัวทางความร้อนที่ 1500°C

4.70 10-6/°ซ

การนำความร้อนที่ 1200°C

23W/ม•เค

โมดูลัสยืดหยุ่น

240 เกรดเฉลี่ย

ทนต่อแรงกระแทกจากความร้อน

ดีมาก

ข้อดีของไม้พาย SiC Cantilever ขั้นสูงของ VET Energy สำหรับการประมวลผลเวเฟอร์คือ:

- ความเสถียรที่อุณหภูมิสูง: ใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่สูงกว่า 1,600 ° C;

- ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ: รักษาความเสถียรของมิติ ลดความเสี่ยงในการบิดเบี้ยวของแผ่นเวเฟอร์

- ความบริสุทธิ์สูง: ลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนของโลหะ

-ความเฉื่อยของสารเคมี: ทนต่อการกัดกร่อน เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมของก๊าซต่างๆ

- ความแข็งแรงและความแข็งสูง: ทนต่อการสึกหรอและมีอายุการใช้งานยาวนาน

-การนำความร้อนที่ดี: ช่วยในการทำความร้อนแผ่นเวเฟอร์สม่ำเสมอ

ไม้พายเท้าแขน10
ไม้พายเท้าแขน16
研发团队2
生产设备1
公司客户1

  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!