เครื่องทำความร้อนเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์

สัตวแพทย์-จีนซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกการเคลือบเป็นการเคลือบป้องกันประสิทธิภาพสูงซึ่งมีความแข็งสูงและทนทานต่อการสึกหรอซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC)วัสดุซึ่งให้ความต้านทานการกัดกร่อนของสารเคมีที่ดีเยี่ยมและความเสถียรที่อุณหภูมิสูง คุณลักษณะเหล่านี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ดังนั้นเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในส่วนประกอบสำคัญของอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์

บทบาทเฉพาะของเว็ท-ไชน่าซิลิคอนคาร์ไบด์เซรามิกการเคลือบในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีดังนี้:

เพิ่มความทนทานของอุปกรณ์:การเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ การเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ให้การปกป้องพื้นผิวที่ดีเยี่ยมสำหรับอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีความแข็งและทนต่อการสึกหรอสูงมาก โดยเฉพาะอย่างยิ่งในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนสูง เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการกัดด้วยพลาสมา การเคลือบสามารถป้องกันพื้นผิวของอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพจากความเสียหายจากการกัดเซาะของสารเคมีหรือการสึกหรอทางกายภาพ ซึ่งจะช่วยยืดอายุการใช้งานของ อุปกรณ์และลดการหยุดทำงานที่เกิดจากการเปลี่ยนและซ่อมแซมบ่อยครั้ง

ปรับปรุงความบริสุทธิ์ของกระบวนการ:ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การปนเปื้อนเล็กน้อยอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องของผลิตภัณฑ์ได้ ความเฉื่อยทางเคมีของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้ยังคงความเสถียรภายใต้สภาวะที่รุนแรง ป้องกันไม่ให้วัสดุปล่อยอนุภาคหรือสิ่งเจือปน ดังนั้นจึงรับประกันความบริสุทธิ์ของสิ่งแวดล้อมของกระบวนการ นี่เป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งสำหรับขั้นตอนการผลิตที่ต้องการความแม่นยำสูงและความสะอาดสูง เช่น PECVD และการฝังไอออน

เพิ่มประสิทธิภาพการจัดการระบายความร้อน:ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูง เช่น การประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) และกระบวนการออกซิเดชัน การนำความร้อนสูงของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ช่วยให้การกระจายอุณหภูมิภายในอุปกรณ์สม่ำเสมอ ซึ่งจะช่วยลดความเครียดจากความร้อนและการเสียรูปของวัสดุที่เกิดจากความผันผวนของอุณหภูมิ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงความแม่นยำและความสม่ำเสมอในการผลิตผลิตภัณฑ์

รองรับสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ซับซ้อน:ในกระบวนการที่ต้องมีการควบคุมบรรยากาศที่ซับซ้อน เช่น กระบวนการกัด ICP และกระบวนการกัด PSS ความเสถียรและความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันของการเคลือบเซรามิกซิลิคอนคาร์ไบด์ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์จะรักษาประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงในการทำงานในระยะยาว ช่วยลดความเสี่ยงที่วัสดุจะเสื่อมสภาพหรือความเสียหายของอุปกรณ์เนื่องจาก ต่อการเปลี่ยนแปลงสิ่งแวดล้อม