vet-china presenterar den innovativa Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, en heltäckande lösning för avancerad halvledarbearbetning. Detta waferhanteringssystem är designat med noggrann precision och ger oöverträffad stabilitet och inriktning, avgörande för högeffektiva tillverkningsmiljöer.
Vertical Column Wafer Boat & Pedestal är konstruerad med premiummaterial som garanterar termisk stabilitet och motståndskraft mot kemisk korrosion, vilket gör den lämplig för de mest krävande halvledartillverkningsprocesserna. Dess unika vertikala pelardesign stöder wafers säkert, vilket minskar risken för felinriktning och potentiell skada under transport och bearbetning.
Med integrationen av vet-kinas Vertical Column Wafer Boat & Pedestal kan halvledartillverkare förvänta sig förbättrad genomströmning, minimerad stilleståndstid och ökat produktutbyte. Detta system är kompatibelt med olika waferstorlekar och konfigurationer, vilket erbjuder flexibilitet och skalbarhet för olika produktionsbehov.
vet-kinas engagemang för excellens säkerställer att varje Vertical Column Wafer Boat & Piedestal uppfyller de högsta standarderna för kvalitet och prestanda. Genom att välja denna banbrytande lösning investerar du i ett framtidssäkert tillvägagångssätt för waferhantering som maximerar effektivitet och tillförlitlighet vid halvledartillverkning.
Egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid
Omkristalliserad kiselkarbid (R-SiC) är ett högpresterande material med hårdhet näst efter diamant, som bildas vid en hög temperatur över 2000 ℃. Den behåller många utmärkta egenskaper hos SiC, såsom hög temperaturhållfasthet, stark korrosionsbeständighet, utmärkt oxidationsbeständighet, god termisk chockbeständighet och så vidare.
● Utmärkta mekaniska egenskaper. Omkristalliserad kiselkarbid har högre styrka och styvhet än kolfiber, hög slaghållfasthet, kan spela en bra prestanda i extrema temperaturmiljöer, kan spela en bättre motviktsprestanda i en mängd olika situationer. Dessutom har den också god flexibilitet och skadas inte lätt av sträckning och böjning, vilket avsevärt förbättrar dess prestanda.
● Hög korrosionsbeständighet. Omkristalliserad kiselkarbid har hög korrosionsbeständighet mot en mängd olika medier, kan förhindra erosion av en mängd olika korrosiva medier, kan behålla sina mekaniska egenskaper under lång tid, har en stark vidhäftning, så att den har en längre livslängd. Dessutom har den också god termisk stabilitet, kan anpassa sig till ett visst område av temperaturförändringar, förbättra dess appliceringseffekt.
● Sintring krymper inte. Eftersom sintringsprocessen inte krymper, kommer ingen kvarvarande spänning att orsaka deformation eller sprickbildning av produkten, och delar med komplexa former och hög precision kan förberedas.
| 重结晶碳化硅物理特性 Fysikaliska egenskaper hos omkristalliserad kiselkarbid | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 使用温度/ Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (med syre), 1700°C (reducerande miljö) |
| Sic含量/ SiC-innehåll | > 99,96 % |
| 自由Si含量/ Gratis Si-innehåll | < 0,1 % |
| 体积密度/Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| 气孔率/ Synbar porositet | < 16 % |
| 抗压强度/ Kompressionsstyrka | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Kallböjhållfasthet | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Varmböjningsstyrka | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Termisk expansion @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Värmeledningsförmåga @1200°C | 23W/m•K |
| 杨氏模量/ Elastisk modul | 240 GPa |
| 抗热震性/ Termisk stötbeständighet | Extremt bra |
VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
