Veterinär-KinaKiselkarbidkeramikCoating är en högpresterande skyddsbeläggning gjord av extremt hårt och slitstarktkiselkarbid (SiC)material, som ger utmärkt kemisk korrosionsbeständighet och hög temperaturstabilitet. Dessa egenskaper är avgörande vid halvledarproduktion, såKeramisk beläggning av kiselkarbidanvänds i stor utsträckning i nyckelkomponenter i halvledartillverkningsutrustning.
Vet-Kinas specifika rollKiselkarbidkeramikBeläggning i halvledarproduktion är som följer:
Förbättra utrustningens hållbarhet:Keramisk beläggning av kiselkarbid Keramisk beläggning av kiselkarbid ger utmärkt ytskydd för utrustning för tillverkning av halvledarprodukter med sin extremt höga hårdhet och slitstyrka. Speciellt i högtemperatur- och mycket korrosiva processmiljöer, såsom kemisk ångavsättning (CVD) och plasmaetsning, kan beläggningen effektivt förhindra att utrustningens yta skadas av kemisk erosion eller fysiskt slitage, vilket avsevärt förlänger livslängden på utrustningen. utrustningen och minska stilleståndstider orsakade av frekventa utbyten och reparationer.
Förbättra processrenheten:I halvledartillverkningsprocessen kan små föroreningar orsaka produktdefekter. Den kemiska trögheten hos Silicon Carbide Ceramic Coating gör att den förblir stabil under extrema förhållanden, vilket förhindrar materialet från att släppa ut partiklar eller föroreningar, vilket säkerställer processens miljömässiga renhet. Detta är särskilt viktigt för tillverkningssteg som kräver hög precision och hög renhet, såsom PECVD och jonimplantation.
Optimera värmehantering:I högtemperaturhalvledarbearbetning, såsom snabb termisk bearbetning (RTP) och oxidationsprocesser, möjliggör den höga värmeledningsförmågan hos Silicon Carbide Ceramic Coating jämn temperaturfördelning inuti utrustningen. Detta hjälper till att minska termisk stress och materialdeformation orsakad av temperaturfluktuationer, och förbättrar därigenom produktens tillverkningsnoggrannhet och konsistens.
Stödja komplexa processmiljöer:I processer som kräver komplex atmosfärskontroll, såsom ICP-etsnings- och PSS-etsningsprocesser, säkerställer stabiliteten och oxidationsbeständigheten hos Silicon Carbide Ceramic Coating att utrustningen bibehåller stabil prestanda under långvarig drift, vilket minskar risken för materialnedbrytning eller skador på utrustningen på grund av till miljöförändringar.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
