Kiselkarbidwaferbåt är en bärande anordning för wafers, främst som används i sol- och halvledardiffusionsprocesser. Den har egenskaper som slitstyrka, korrosionsbeständighet, slaghållfasthet vid hög temperatur, motståndskraft mot plasmabombardement, hög temperaturbärande förmåga, hög värmeledningsförmåga, hög värmeavledning och långvarig användning som inte är lätt att böja och deformera. Vårt företag använder högrent kiselkarbidmaterial för att säkerställa livslängden och tillhandahåller skräddarsydda konstruktioner, inklusive olika vertikala och horisontella waferbåtar.
Materialdatablad
| 材料Material | R-SiC |
| 使用温度Arbetstemperatur (°C) | 1600°C (氧化气氛Oxiderande miljö)1700°C (还原气氛Reducerande miljö) |
| SiC含量SiC-innehåll (%) | > 99 |
| 自由Si 含量Fri Si-innehåll (%) | < 0,1 |
| 体积密度Bulkdensitet (g/cm3) | 2,60-2,70 |
| 气孔率Synbar porositet (%) | < 16 |
| 抗压强度Krosshållfasthet (MPa) | > 600 |
| 常温抗弯强度Kallböjhållfasthet (MPa) | 80-90 (20°C) |
| 高温抗弯强度Varmböjhållfasthet (MPa) | 90-100 (1400°C) |
| 热膨胀系数 Termisk expansionskoefficient @1500°C (10-6/°C) | 4,70 |
| 导热系数Värmeledningsförmåga @1200°C (W/m•K) | 23 |
| 杨氏模量Elastisk modul (GPa) | 240 |
| 抗热震性Motståndskraft mot termisk stöt | 很好Extremt bra |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltdär ett högteknologiskt företag med fokus på produktion och försäljning av avancerade material, material och teknikinklusivegrafit, kiselkarbid, keramik, ytbehandling och så vidare. Produkterna används i stor utsträckning inom solceller, halvledare, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
