SiC-belagd grafit halvmånedelis a nyckelkomponent som används i halvledartillverkningsprocesser, speciellt för SiC epitaxiell utrustning.Vi använder vår patenterade teknologi för att göra halvmånen del medextremt hög renhet,brabeläggningenhetlighetoch en utmärkt livslängd, liksomhög kemisk beständighet och termiska stabilitetsegenskaper.
VET Energy är deverklig tillverkare av skräddarsydda grafit- och kiselkarbidprodukter med CVD-beläggning,kan levereraolikakundanpassade delar för halvledar- och solcellsindustrin. Our tekniska team kommer från topp inhemska forskningsinstitutioner, kan tillhandahålla mer professionella materiallösningarför dig.
Vi utvecklar kontinuerligt avancerade processer för att tillhandahålla mer avancerade material,ochhar utarbetat en exklusiv patenterad teknologi, som kan göra bindningen mellan beläggningen och underlaget tätare och mindre benägen att lossna.
Fegenskaper hos våra produkter:
1. Högtemperaturoxidationsbeständighet upp till 1700℃.
2. Hög renhet ochtermisk enhetlighet
3. Utmärkt korrosionsbeständighet: syra, alkali, salt och organiska reagenser.
4. Hög hårdhet, kompakt yta, fina partiklar.
5. Längre livslängd och mer hållbar
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Grundläggande fysikaliska egenskaper hos CVD SiCbeläggning | |
| 性质 / Fastighet | 典型数值 / Typiskt värde |
| 晶体结构 / Kristallstruktur | FCC β-fas多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Densitet | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Hårdhet | 2500 维氏硬度（500g last） |
| 晶粒大小 / kornstorlek | 2~10μm |
| 纯度 / Kemisk renhet | 99,99995 % |
| 热容 / Värmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Flexural Strength | 415 MPa RT 4-punkts |
| 杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt böj, 1300℃ |
| 导热系数 / ThermalLedningsförmåga | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Termisk expansion (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Varmt välkommen att besöka vår fabrik, låt oss diskutera vidare!
